[发明专利]用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法以及微机械装置

权利要求书

1.用于制造微机械装置的方法，具有以下方法步骤：

(a)提供微机械初级产品，该初级产品具有第一衬底(11)和至少一个第一空腔(100)，其中，第一空腔(100)至少由第一衬底(11)限界，

(b)施加附加层(9)到第一衬底(11)上，

(c)激光钻孔穿过附加层(9)并由此制造掩模，

(d)穿过掩模对第一衬底(11)的第一部分区段(12)进行激光钻孔，

(e)穿过掩模并穿过第一部分区段(12)对第一衬底(11)的第二部分区段(13)这样进行等离子蚀刻，使得建立穿过第一衬底(11)通往所述第一空腔(100)的通道(1)，

(f)激光熔化第一部分区段(12)的衬底材料并且以熔化物封闭所述通道(1)。

2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(c)之后去除所述附加层(9)。

3.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤(e)之后在所述第一空腔(100)中设定具有确定的组成的气氛和确定的压力。

4.按照权利要求1或3所述的方法，其特征在于，在步骤(f)中也进行所述附加层(9)的材料的激光熔化。

5.按照权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，步骤(c)和/或步骤(d)基本上在大气压力下执行。

6.按照权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤(c)中以第一激光运行参数执行激光钻孔，在步骤(d)中以与第一激光运行参数不同的第二激光运行参数执行激光钻孔。

7.按照权利要求6所述的方法，其中，与所述第一激光运行参数相比，所述第二激光运行参数具有更长的波长和/或更差的聚焦和/或更长的脉冲长度。

8.按照权利要求6所述的方法，其特征在于，在步骤(d)中，首先以第一激光运行参数执行激光钻孔直至确定的深度，接着以第二激光运行参数执行激光钻孔。

9.微机械装置，具有第一衬底(11)，具有至少一个第一空腔(100)，具有通向第一空腔(100)的、封闭的通道(1)，其中，所述通道(1)穿过所述第一衬底(11)延伸，其特征在于，所述通道(1)具有激光钻孔的第一部分区段(12)和等离子蚀刻的第二部分区段(13)，其中，等离子蚀刻的第二部分区段(13)具有通到所述第一空腔(100)的开口，其中，所述通道(1)在所述第一部分区段(12)中通过由至少所述第一衬底(11)的熔化物构成的熔化封口部(5)封闭。

10.按照权利要求9所述的微机械装置，其特征在于，所述第一衬底(11)具有附加层(9)并且通道(1)也通过所述附加层(9)的熔化物来封闭。

11.混合集成的、按照权利要求9或10所述的微机械装置，其特征在于，所述装置具有带有ASIC电路的第二衬底(15)。