[发明专利]硬掩模用组合物

权利要求书

1.一种硬掩模用组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物包含下述化学式1的重复单元和下述化学式2的重复单元：

化学式1

化学式2

式中，

所述A₁为选自由下述化学式A₁-1～化学式A₁-5组成的组中的任一个：

化学式A₁-1

化学式A₁-2

化学式A₁-3

化学式A₁-4

化学式A₁-5

A₂由下述化学式A₂-1表示：

化学式A₂-1

所述A₁和A₂各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，

所述Ra为氢、碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，所述B为碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，

所述B为碳原子数6的芳基的情况下，被碳原子数1～6的烷基、羟基、烷氧基或苯基取代，所述烷氧基包含碳原子数1～4的烷基、烯丙基或碳原子数6～12的芳基，

所述n和m各自独立地为1～190的整数。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述A₁来源于选自由下述化学式p-1-1～化学式p-1-5组成的组中的化合物：

化学式p-1-1

化学式p-1-2

化学式p-1-3

化学式p-1-4

化学式p-1-5

所述化学式p-1-5中，Ra为氢、碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基。

3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述A₂来源于选自由下述化学式p-2-1和化学式p-2-2组成的组中的化合物：

化学式p-2-1

化学式p-2-2

式中，所述化学式p-2-1和化学式p-2-2的各苯环各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、甲氧基或苯基进一步取代。

4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述B来源于下述化学式P-3的化合物：

P-3

5.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述共聚物为通过选自由下述化学式p-1-1～化学式p-1-5组成的组中的化合物、选自由下述化学式p-2-1和化学式p-2-2组成的组中的化合物、和下述化学式P-3的化合物的缩合反应而制造的化合物：

化学式p-1-1

化学式p-1-2

化学式p-1-3

化学式p-1-4

化学式p-1-5

化学式p-2-1

化学式p-2-2

P-3

式中，所述化学式p-1-1～化学式p-1-5和化学式p-2-1～化学式p-2-2的各苯环各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，

所述Ra为氢、碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，所述B为碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，

所述B为碳原子数6的芳基的情况下，被碳原子数1～6的烷基、羟基、烷氧基或苯基取代，所述烷氧基包含碳原子数1～4的烷基、烯丙基或碳原子数6～12的芳基。

6.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述共聚物中以5:5～9:1摩尔比包含所述化学式1的重复单元和所述化学式2的重复单元。