[发明专利]高纯度分配单元

权利要求书

1.一种用于流体输送的装置，所述装置包括：

液压流体壳体，所述液压流体壳体限定具有长形囊状部的室，所述长形囊状部定位在所述室内，所述长形囊状部从室入口开口延伸至室出口开口，所述室提供囊状部扩张约束部，所述囊状部扩张约束部允许所述长形囊状部扩张至预定容积并且防止所述长形囊状部扩张超过所述预定容积；

所述长形囊状部在所述室入口开口与所述室出口开口之间限定呈线性的流体流动路径，所述长形囊状部构造成在所述室内横向地扩张及横向地收缩，使得当所述长形囊状部容纳过程流体时，所述长形囊状部内的所述过程流体的体积能够增大及减小；

所述室构造成容纳与所述长形囊状部的外表面接触的液压流体；

所述液压流体壳体包括与所述室流体连通的移位室，所述移位室包括移位构件，所述移位构件能够插入到所述移位室中以及能够从所述移位室缩回；以及

控制器，所述控制器配置成启动容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过使所述移位构件的一部分从所述移位室缩回而使所述长形囊状部上的液压流体压力减小，由此引起所述长形囊状部的扩张；所述控制器配置成所述启动容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过将所述移位构件的一部分插入所述移位室中而使所述长形囊状部上的液压流体压力增大，由此引起所述长形囊状部的收缩；

其中，所述囊状部扩张约束部是长形套筒，所述长形套筒是刚性的并且围绕所述长形囊状部定位，并且

其中，所述长形套筒限定有一个或更多个开口以用于所述液压流体进入所述囊状部扩张约束部内以及从所述囊状部扩张约束部内离开。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述移位构件包括活塞，所述活塞具有填充所述移位构件的内径的活塞直径。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述移位构件是杆，所述杆的截面高度小于所述移位室的内部高度的一半。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述移位构件还包括杆和活塞，所述杆和所述活塞构造成独立于彼此移动，与所述杆相比，所述活塞引起所述液压流体的更大移位。

5.根据权利要求1所述的装置，还包括消隙机构，所述消隙机构构造成向致动器施加压力以使所述移位构件的压力响应增强。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述长形囊状部由弹性体材料构成。

7.一种用于流体输送的装置，所述装置包括：

液压流体壳体，所述液压流体壳体限定具有室入口开口和室出口开口的室；

长形囊状部，所述长形囊状部定位在所述室内并且从所述室入口开口延伸至所述室出口开口，所述长形囊状部在所述室入口开口与所述室出口开口之间限定呈线性的流体流动路径，所述长形囊状部构造成将过程流体容纳在所述长形囊状部内，所述过程流体与容纳在所述室内的液压流体是分开的，所述长形囊状部构造成在所述室内横向地扩张及横向地收缩，使得当所述长形囊状部容纳所述过程流体时，所述长形囊状部内的所述过程流体的体积能够增大及减小；

囊状部扩张约束部，所述囊状部扩张约束部构造成允许所述长形囊状部在所述室内扩张至预定容积并且防止所述长形囊状部扩张超过预定的横向扩张值，所述室构造成保持液压流体与所述长形囊状部的外表面接触；

移位构件，所述移位构件能够插入到所述室中以及能够从所述室缩回，以及

控制器，所述控制器配置成启动容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过使所述移位构件的一部分从所述室缩回而使所述长形囊状部上的液压流体压力减小，由此引起所述长形囊状部的扩张；并且所述控制器配置成启动所述容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过将所述移位构件的一部分插入所述室中而使所述长形囊状部上的液压流体压力增大，由此引起所述长形囊状部的收缩，

其中，所述囊状部扩张约束部是长形套筒，所述长形套筒是刚性的并且围绕所述长形囊状部定位，使得所述长形套筒的内表面防止所述长形囊状部扩张超过所述套筒的内径，其中，所述长形套筒限定有一个或更多个开口以用于所述液压流体进入所述囊状部扩张约束部内以及从所述囊状部扩张约束部内离开。