[发明专利]一种石墨舟硅片批量吸取装置在审
申请号: | 201710689740.4 | 申请日: | 2017-08-14 |
公开(公告)号: | CN107658257A | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人: | 韩飞 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 硅片 批量 吸取 装置 | ||
1.一种石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,包括:
吸盘组件(1);以及
用于将吸盘组件(1)锁紧固定的紧固组件(2),
其中,吸盘组件(1)包括若干片吸盘(11),相邻两片吸盘(11)相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。
2.如权利要求1所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸盘(11)沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽(111),每条容纳通槽(111)中均设有吸嘴组件(12)。
3.如权利要求2所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸嘴组件(12)包括:
吸嘴(121);以及
与吸嘴(121)相连通的吸管(122),其用于将吸嘴(121)内部抽真空的吸管(122)。
4.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,容纳槽(111)的末端连通地设有吸嘴通槽(1111),吸嘴(121)位于吸嘴通槽(1111)中。
5.如权利要求4所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸嘴通槽(1111)的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽(1112),每条弹簧通槽(1112)中均设有平衡弹簧(123),其中,平衡弹簧(123)的一端与吸盘(11)相连接,另一端与吸嘴(121)的边缘相连接。
6.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,紧固组件(2)包括:
至少一根紧固杆(24);
固定板(21);以及
固接于固定板(21)下表面的左紧固板(22)与右紧固板(23),
其中,左紧固板(22)与右紧固板(23)相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间,所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘(11)的安装板(25),紧固杆(24)从左至右依次将左紧固板(22)、安装板(25)、及右紧固板(23)串联起来并将三者锁定紧固。
7.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)的数目与吸盘(11)的数目相同。
8.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)的其中一侧开设有指状的安装槽(253),安装槽(253)设有至少4条相互平行的指端(2531),相邻两条指端(2531)间形成有与吸嘴容纳槽(111)的顶端相匹配的安装凸台(252)。
9.如权利要求8所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)内部开设有通往安装凸台(252)的气路,所述气路的吸气口连通有吸气嘴(251),所述气路的抽气口通过抽气嘴(2521)与吸管(122)相连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造