[发明专利]一种石墨舟硅片批量吸取装置在审

专利信息
申请号: 201710689740.4 申请日: 2017-08-14
公开(公告)号: CN107658257A 公开(公告)日: 2018-02-02
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L31/18
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 代理人: 韩飞
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 硅片 批量 吸取 装置
【权利要求书】:

1.一种石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,包括:

吸盘组件(1);以及

用于将吸盘组件(1)锁紧固定的紧固组件(2),

其中,吸盘组件(1)包括若干片吸盘(11),相邻两片吸盘(11)相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。

2.如权利要求1所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸盘(11)沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽(111),每条容纳通槽(111)中均设有吸嘴组件(12)。

3.如权利要求2所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸嘴组件(12)包括:

吸嘴(121);以及

与吸嘴(121)相连通的吸管(122),其用于将吸嘴(121)内部抽真空的吸管(122)。

4.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,容纳槽(111)的末端连通地设有吸嘴通槽(1111),吸嘴(121)位于吸嘴通槽(1111)中。

5.如权利要求4所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,吸嘴通槽(1111)的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽(1112),每条弹簧通槽(1112)中均设有平衡弹簧(123),其中,平衡弹簧(123)的一端与吸盘(11)相连接,另一端与吸嘴(121)的边缘相连接。

6.如权利要求3所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,紧固组件(2)包括:

至少一根紧固杆(24);

固定板(21);以及

固接于固定板(21)下表面的左紧固板(22)与右紧固板(23),

其中,左紧固板(22)与右紧固板(23)相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间,所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘(11)的安装板(25),紧固杆(24)从左至右依次将左紧固板(22)、安装板(25)、及右紧固板(23)串联起来并将三者锁定紧固。

7.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)的数目与吸盘(11)的数目相同。

8.如权利要求6所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)的其中一侧开设有指状的安装槽(253),安装槽(253)设有至少4条相互平行的指端(2531),相邻两条指端(2531)间形成有与吸嘴容纳槽(111)的顶端相匹配的安装凸台(252)。

9.如权利要求8所述的石墨舟硅片批量吸取装置,其特征在于,安装板(25)内部开设有通往安装凸台(252)的气路,所述气路的吸气口连通有吸气嘴(251),所述气路的抽气口通过抽气嘴(2521)与吸管(122)相连通。

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