[发明专利]一种石墨舟快速夹紧装置

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能硅片制造领域，特别涉及一种石墨舟快速夹紧装置。

背景技术

石墨舟即石墨模具，是一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，在这个工序需要用到石墨舟，其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

在现有技术中，上述步骤均采用自动化作业，因此需要对石墨舟进行固定及精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。

发明内容

针对现有技术中存在的不足之处，本发明的目的是提供一种石墨舟快速夹紧装置，其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。

为了实现根据本发明的上述目的和其他优点，提供了一种石墨舟快速夹紧装置，包括：

固定机构；以及

与固定机构相对设置的至少一组夹紧机构，

其中，夹紧机构与固定机构相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构包括固定的底板以及滑动组件，所述滑动组件可在底板上相对固定机构往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。

优选的是，所述滑动组件包括：

驱动组件；

滑动底板；以及

夹紧立板，其设于滑动底板上并与滑动底板相固接，

其中，滑动底板可在驱动组件的驱动下靠近或远离固定机构。

优选的是，夹紧立板上相对固定机构的一侧设有若干个顶针，顶针垂直于夹紧立板的表面并可相对夹紧立板作往复运动。

优选的是，顶针与夹紧立板之间、顶针之上套设有回复弹簧。

优选的是，顶针呈端部直径大、本体直径小的T字形结构，回复弹簧套设于顶针的本体上，并被顶针的端部及夹紧立板所限定。

优选的是，滑动底板与底板之间设有至少一个滑动导轨，滑动导轨的延伸方向与所述夹紧通道的延伸方向相垂直，滑动底板可在驱动组件的驱动下沿滑动导轨靠近或远离固定机构。

优选的是，驱动组件包括：

设于底板之上的驱动气缸；以及

一端与驱动气缸的动力输出端相固接的连接板，

其中，连接板的另一端与滑动底板相固接。

优选的是，固定机构包括：

至少两根沿直线排列的立柱；以及

设于相邻两根立柱之间的固定立板，

其中，固定立板与夹紧立板平行且相对设置以形成所述夹紧通道，固定立板相对夹紧立板的一侧设有若干根固定柱。

优选的是，固定立板上开设有若干个第一减轻孔。

优选的是，夹紧立板与滑动底板之间固接有至少一片加强肋，夹紧立板上开设有多个第二减轻孔。

本发明与现有技术相比，其有益效果是：

其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。

附图说明

图1为根据本发明所述的石墨舟快速夹紧装置的立体图；

图2为根据本发明所述的石墨舟快速夹紧装置与放置于其中的石墨舟相配合的立体图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，本发明的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在说明书中，诸如“前部”、“后部”、“上部”、“下部”、“顶部”和“底部”及其衍生词的相对术语应当被解释为是指如然后所述的或如在被讨论的附图中所示出的取向。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。