[发明专利]一种硅片扩散装置及硅片插片方法

权利要求书

1.一种硅片扩散装置，其特征在于，包括进气管、炉管、炉门、支架、排气管、石英舟；所述进气管、炉门分别设置在炉管的两端；所述石英舟设置在支架上侧，且两者均设置在炉管内部；所述排气管一端设置在炉管的内部，另一端由炉管内向外延伸；所述石英舟包括若干垂直于支架设置的石英棒；所述每一石英棒均开设若干开口朝内的卡槽，且卡槽开口长度方向与支架所在水平面平行。

2.根据权利要求1所述的硅片扩散装置，其特征在于，所述石英棒包括四个，且四石英棒上的卡槽数量、位置一一对应；所述四石英棒分别两两设置于与进气管相邻的两侧。

3.根据权利要求2所述的硅片扩散装置，其特征在于，所述卡槽沿垂直于支架所在水平面的宽度大于两硅片的厚度总和。

4.根据权利要求3所述的硅片扩散装置，其特征在于，所述每一石英棒中的两两卡槽形成间隙。

5.一种硅片插片方法，其特征在于，该方法是将背靠背水平叠放的两硅片沿权利要求1-4任一项所述的卡槽方向平行插入所述卡槽内。

6.根据权利要求5所述的硅片插片方法，其特征在于，所述进气管的气流沿平行于硅片放置方向从卡槽间隙流过，且分别从石英棒相邻的硅片两侧流入和流出。