[发明专利]用于分配系统的自动的多头清洁器及相关方法

权利要求书

1.一种用于自动地清洁材料沉积系统的喷嘴的方法，所述材料沉积系统配置成将材料沉积在电子基板上，所述材料沉积系统包括：连接到吊架的两个沉积头，每个沉积头均包括针；针清洁器组件，所述针清洁器组件能够在针清洁器吊架上移动，所述针清洁器组件配置成同时清洁所述沉积头的针，所述方法包括：

通过所述材料沉积系统实施沉积操作；

通过所述针清洁器组件对所述两个沉积头的针同时进行清洁，所述针清洁器组件包括通过两个支架固定到所述针清洁器吊架的底板，以及固定到所述底板的两个针清洁器，每个所述针清洁器用于一个沉积头，所述底板具有在其中形成的槽以使能够在所述系统的建立和校正期间对所述两个针清洁器进行定位；以及

通过沿所述底板的长度相对于第二针清洁器滑动第一针清洁器来调节所述两个针清洁器之间的间隔，以对应于所述沉积头的两个所述针之间的间隔。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，清洁所述两个沉积头的所述针包括通过视觉系统获取所述针清洁器的至少一个图像，以及确定所述沉积头和所述针清洁器之间的偏移距离。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，清洁所述两个沉积头的所述针还包括通过将一个所述针的位置固定并将另一个所述针的位置调节到期望的位置来调节所述针的间隔。

4.根据权利要求3所述的方法，其中调节所述针的所述间隔由所述材料沉积系统的控制器来实施。

5.根据权利要求3所述的方法，其中所述针的所述间隔显示在所述材料沉积系统上的显示器上。

6.根据权利要求3所述的方法，其中如果所述针的所述间隔不在预定的容差内，则移动可调节的所述针并重复清洁所述两个沉积头的所述针的过程。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述针清洁器组件安装到吊架上，所述吊架配置成在X轴线方向和Y轴线方向中的至少一个上移动所述针清洁器组件。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括核实用于每个沉积头的针孔口的尺寸。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括操作转动分度器以选择正确尺寸的针孔口并将适当的针孔口移动到恰当的位置。

10.一种用于将材料沉积在电子基板上的材料沉积系统，所述材料沉积系统包括：

框架；

支承件，所述支承件连接到所述框架，所述支承件配置成在沉积操作期间支承所述电子基板；

吊架，所述吊架连接到所述框架；

沉积头，所述沉积头连接到所述吊架，所述沉积头包括针，所述沉积头能够通过所述吊架的移动在所述支承件的上方移动；

针清洁器组件，所述针清洁器组件是真空装置，并且所述针清洁器组件包括孔口，所述孔口配置成用于插入待清洁的所述沉积头的所述针的末端；以及

控制器，所述控制器配置成控制所述针清洁器组件的操作以实施针清洁操作,

其特征在于，

所述材料沉积系统包括两个所述沉积头，每个所述沉积头包括针，

所述针清洁器组件能够在针清洁器吊架上移动以同时清洁所述沉积头的所述针，

其中所述针清洁器组件包括通过两个支架固定到所述针清洁器吊架的底板，以及固定到所述底板的两个针清洁器，每个所述针清洁器用于一个沉积头，所述底板具有在其中形成的槽以使能够在所述系统的建立和校正期间对所述两个针清洁器进行定位，

其中通过沿所述底板的长度相对于第二针清洁器滑动第一针清洁器来调节所述两个针清洁器之间的间隔，以对应于所述沉积头的两个所述针之间的间隔。

11.根据权利要求10所述的材料沉积系统，其中每个针清洁器包括位于其各自的针清洁器内的帽，

其中每个所述帽包括配置成容纳所述沉积头的所述针的多个孔口，

其中所述多个孔口的尺寸适于容纳具有不同直径的针。