[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法和元件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，其具备：

第1支承部，吸附并支承物体的一部分；

第2支承部，非接触支承该物体的其他部分；

驱动部，使支承该物体的该第1及第2支承部往扫描方向移动；

投影光学系，以曝光藉由该第1及第2支承部所支承且因该驱动部而移动中的物体中的与该第1支承部对向的该物体的该一部分的方式投影照明光；及

第3支承部，吸附并支承该物体；

该第3支承部，在该物体的该一部分被曝光且吸附并支承该第1支承部的吸附支承解除后的该物体的状态下，相对于该第1支承部，往与该扫描方向交叉的既定方向相对移动该物体；

该第1支承部，吸附并支承藉由该第3支承部而被相对移动的该物体中的与该第1支承部对向的区域；

该驱动部，以与该第1支承部对向的该区域被曝光的方式，相对于该投影光学系，相对移动该第1及第2支承部往该扫描方向。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，该驱动部相对于该第1及第2支承部的一方的支承部，相对移动另一方的支承部。

3.如权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该驱动部相对于该第2支承部，相对移动吸附并支承该物体的该一部分的该第1支承部。

4.如权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该第2支承部，在与该扫描方向交叉的既定方向，配置于该第1支承部的两侧。

5.如权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该第2支承部具有对该物体的下面供应气体的气体供应孔。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其中，该第1支承部具有吸引该物体的下面的气体的吸引孔。

7.如权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该第1支承部具有供应该物体的下面的气体的供应孔。

8.如权利要求1或2所述的曝光装置，其中，该第2支承部藉由多孔质体所形成。

9.如权利要求1或2所述的曝光装置，其进一步具备使用能量束对该物体形成既定图案的图案形成装置。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其中，该物体是使用于平板显示器的基板。

11.如权利要求10所述的曝光装置，其中，该基板至少一边的长度或对角长度是500mm以上。

12.一种平板显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求10或11所述的曝光装置使该物体曝光的动作；及

使曝光后的该物体显影的动作。

13.一种元件制造方法，其包含：

使用权利要求9所述的曝光装置使该物体曝光的动作；及

使曝光后的该物体显影的动作。