[发明专利]用于形成硅片批的装卸装置及装卸方法

权利要求书

1.一种用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：包括平移机构（1）、升降机构（2）、第一抓取机构和第二抓取机构；所述升降机构（2）安装在平移机构（1）的移动端上，平移机构（1）能够驱动升降机构（2）在花篮和工艺站夹具之间移动；所述升降机构（2）的升降活动端上安装连接座（5），连接座（5）底部安装第一抓取机构和第二抓取机构；

所述第一抓取机构包括第一抓取组件（37）、第一左右调整驱动件（31）和第一前后调整驱动件（38），第一左右调整驱动件（31）和第一前后调整驱动件（38）能够驱动第一抓取组件（37）分别实现左右、前后移动；

所述第二抓取机构包括第二抓取组件（45）和第二左右调整驱动件（41），第二左右调整驱动件（41）能够驱动第二抓取组件（45）实现左右移动；

所述第一抓取组件（37）和第二抓取组件（45）均包括有旋转驱动件（451）和若干个用于吸取花篮中硅片组的吸盘（454），吸盘（454）呈并排等间距设置；所述吸盘（454）连接至旋转驱动件（451）的动力输出端，能够实现旋转。

2.如权利要求1所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：所述第一抓取组件（37）安装于第一前后滑动板（36）上，第一前后滑动板（36）滑动设置于第一左右滑动板（34）上，第一左右滑动板（34）滑动设置于连接座（5）底部；所述第一左右滑动板（34）与第一左右调整驱动件（31）连接以实现左右移动，第一前后滑动板（36）与第一前后调整驱动件（38）连接以实现前后移动。

3.如权利要求1所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：所述第二抓取组件（45）安装于第二左右滑动板（44）上，第二左右滑动板（44）滑动设置于连接座（5）底部；所述第二左右滑动板（44）与第二左右调整驱动件（41）连接以实现左右移动。

4.如权利要求1-3任一项所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：所述吸盘（454）上设有用于抽气的通气孔（4542），吸盘（454）的夹持端设置若干吸气孔（4545），通气孔（4542）和吸气孔（4545）之间由通气路（4543）贯通。

5.如权利要求4所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：在所述吸盘（454）的夹持端设置通气槽（4544），吸气孔（4545）设于通气槽（4544）中。

6.如权利要求4所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：所述吸盘（454）上设有用于安装的安装孔（4541）。

7.如权利要求1-3任一项所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：在所述旋转驱动件（451）的动力输出端上设置旋转连接件（452），旋转连接件（452）两端设有吸盘固定件（453），所述吸盘（454）设置在两端的吸盘固定件（453）之间。

8.如权利要求1-3任一项所述的用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：所述吸盘（454）的间距与花篮中存放的硅片组的两两硅片之间的间距一致；所述吸盘（454）的厚度小于硅片组的两两硅片之间的间距，以保证吸盘（454）能够插入到硅片间的间隙中。

9.一种用于形成硅片批的装卸方法，其特征是，包括以下步骤：

（1）第一抓取机构和第二抓取机构移动至花篮上方，第一抓取机构和第二抓取机构的相对位置与花篮中存放的两组硅片组位置相对应，第一抓取机构和第二抓取机构分别同时抓取同一个花篮中存放的两组硅片组；

（2）抓取完硅片后，第一抓取机构和第二抓取机构移动至工艺站夹具上方，第一抓取组件（37）和第二抓取组件（45）分别朝相反方向旋转90°，使两组硅片组的硅片间隙开口一侧相对设置；第一抓取组件（37）在旋转过程中或者旋转后进行前后移动，使得第一抓取机构和第二抓取机构抓取的两组硅片组能够交替对插进对方的硅片间隙里，并保证对插时两组硅片组的相邻硅片之间存在一定间隙；

（3）接着，第一抓取机构和第二抓取机构相对移动，使两组硅片组完成对插动作；

（4）最后，第一抓取组件（37）前后移动进行调整，使两组硅片中的硅片形成面对面、背对背或者等间距的硅片批。

10.如权利要求9所述的用于形成硅片批的装卸方法，其特征是：所述步骤（2）中，第一抓取组件（37）和第二抓取组件（45）进行旋转之前，第一抓取机组件（37）向远离第二抓取机构的一侧避让，第二抓取组件（45）向远离第一抓取机构的一侧避让。