[发明专利]一种N型单面电池的制备方法

权利要求书

1.一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）对N型硅片制绒；所述步骤1）中制绒所用溶液由以下重量百分比的组分组成：氢氧化钠5~10%，异丙醇10~15%，氟化硅1~2%，余量为含氨3~5wt.% 的氨水；

2）依次使用HCl溶液、HF溶液和HPO₃溶液清洗；

3）配制POCl₃混合液，所述POCl₃混合液由以下重量百分比组成：POCl₃ 50~70%，HCl 5~15%，HPO₃ 10~20%，V₂O₅ 0.5~1%，余量为水；

4）在清洗后的硅片背面黏贴氮化硅掩膜，投入POCl₃混合液，置于扩散炉，300~500℃加热30~60min；

5）冷却，取出磷扩散后的硅片，用1~3mo/L的HF溶液清洗；

6）用酸性溶液进行湿法刻蚀，在正面镀一层氮化硅减反射膜；

丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。

2.根据权利要求1所述的一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中HCl溶液、HF溶液和HPO₃溶液的摩尔浓度分别为5~8 mol/L、5~10 mol/L、6~8 mol/L。

3.根据权利要求1所述的一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，所述步骤3）POCl₃混合液由以下重量百分比组成：POCl₃ 55~65%，HCl 5~10%，HPO₃ 10~15%，V₂O₅ 0.5~0.8%，余量为水。

4.根据权利要求1所述的一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，所述步骤4）中氮化硅掩膜中掺有5~10%质量分数的SiO₂。

5.根据权利要求1所述的一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，所述步骤6）中酸性溶液由以下重量百分比的组分组成：HF 50~70%，H₂O₂ 10~20 %，CH₃COOH 5~8%。

6.根据权利要求1所述的一种N型单面电池的制备方法，其特征在于，所述步骤6）氮化硅减反射膜的厚度为60~80 nm。