[发明专利]一种缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂，其特征在于，所述缓蚀剂包括以下质量分数的组分：10-15％含硫咪唑啉、5-10％含聚乙二醇的酯类、5％-10％助剂、65％-85％有机溶剂；所述含硫咪唑啉的结构式为：

其中，R₁为碳原子数为6-20的烷基、环烷基、芳基、烷基芳基或烯基；

R₂为多烯多胺；

R₃为烷基、环烷基、芳基、烷基芳基、烯基或羧酸基。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，所述含聚乙二醇的酯类的结构式为：

R₁COO(CH₂CH₂O)_nOCR₁

其中，R₁为碳原子数为6-20的烷基、环烷基、芳基、烷基芳基或烯基；

n＝4-14。

3.根据权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，所述助剂为碳原子数为1-8的醇、酯、醚、醛或酮。

4.根据权利要求1所述的缓蚀剂，其特征在于，所述有机溶剂为柴油或煤油。

5.一种权利要求1-4中任一项所述的缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

将摩尔比为(0.8-0.9):1:(0.05-0.1)的有机胺A、有机酸B和聚乙二醇C充分混合后升温至220-240℃，同时通入氮气；将反应生成的水通过分水器分离出来；反应2-3小时后停止加热，获得咪唑啉中间体和含聚乙二醇的酯类；待体系冷却至100-140℃时，再向体系中加入含硫有机化合物D，所述含硫有机化合物D的摩尔加入量为有机胺A摩尔加入量的0.8-1.2倍，并继续反应2-4小时，将反应生成的水通过分水器分离出来，得到含硫咪唑啉以及含聚乙二醇的酯类的混合溶液；

然后在所述混合溶液中加入5-10重量份的助剂和65-85重量份的有机溶剂，得到所述缓蚀剂；

其中，述含硫咪唑啉的结构式为：

其中，R₁为碳原子数为6-20的烷基、环烷基、芳基、烷基芳基或烯基；

R₂为多烯多胺；

R₃为烷基、环烷基、芳基、烷基芳基、烯基或羧酸基。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述有机胺A的结构式为：

H₂N-CH₂-CH₂-(CH₂-CH₂-NH)_m-CH₂-CH₂-NH₂

其中，m＝1-6。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述有机酸B为碳原子数为6-20的直链或含有支链的饱和或不饱和脂肪酸。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述含硫有机化合物D的结构式为：R₃-SH，其中，R₃可以是烷基、环烷基、芳基、烷基芳基、烯基或羧酸基。