[发明专利]面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA

权利要求书

1.面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，包括：输入调谐网络、放大部分、输出调谐网络、第一驻波收能量集电路和第二驻波能量收集电路；输入调谐网络、放大部分、输出调谐网络依次相连形成LNA结构；第一驻波收能量集电路和第二驻波能量收集电路分别连接在LNA结构的输入端和输出端；其中，

输入调谐网络和输出调谐网络结构相同，均为LC带通滤波器；

第一驻波收能量集电路和第二驻波能量收集电路结构相同，均包括依次相连的LC带阻滤波器、AC/DC模块和充电电池；LC带阻滤波器为由电容式固支梁K3、电容式固支梁K4和平面电感L3、平面电感L4构成组成的LC滤波电路，LC带阻滤波器的阻带频域与LC带通滤波器的通带频域相同；

LNA结构输入端和输出端的驻波信号首先通过对应端的LC带阻滤波器进行滤波，继而被AC/DC模块转换为直流信号并存入充电电池中；

所述面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA在实现驻波能量收集的同时，也改善了电路的电磁兼容环境。

2.根据权利要求1所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述LC带通滤波器包括：平面电感L1、平面电感L2和电容式固支梁K1、电容式固支梁K2；其中，电容式固支梁K1的一端作为LC带通滤波器的输入端口，另一端连接平面电感L1，电容式固支梁K1的金属pad连接地，平面电感L1的另一端分别与平面电感L2、电容式固支梁K2相连，平面电感L2的另一端接地，电容式固支梁K2的另一端悬空，电容式固支梁K2的金属pad引线作为LC带通滤波器的输出端。

3.根据权利要求2所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述LC带阻滤波器中，电容式固支梁K4的金属pad接地，电容式固支梁K4的一端与平面电感L4一端相连，另一端作为LC带阻滤波器的输入端；平面电感L4的另一端分别连接电容式固支梁K3和平面电感L3，平面电感L3的另一端接地，电容式固支梁K3另一端悬空，电容式固支梁K3的金属pad作为LC带阻滤波器的输出端；通过控制电容式固支梁K3、K4的下拉驱动电压调节接入的电容大小，进而调节LC带阻滤波器的通带频域。

4.根据权利要求3所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述平面电感包括：高阻硅衬底、第一段传输线、第二段传输线、电感线圈、第一连接支撑柱和第二连接支撑柱；第一段传输线和第二段传输线分别设置于高阻硅衬底上表面两侧，第一段传输线上表面还设有氮化硅介质层；电感线圈悬空设置在平面电感最顶端，并通过第一连接支撑柱、第二连接支撑柱分别与第一段传输线、第二段传输线相连。

5.根据权利要求3所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述电容式固支梁包括：高阻硅衬底、第三段传输线、第四段传输线、固支梁和金属pad；第三段传输线、第四段传输线分别设置于高阻硅衬底上表面两侧，第三段传输线上设有第一锚区，第四段传输线上设有第二锚区，固支梁架在第一锚区和第二锚区之间；金属pad设置在高阻硅衬底上表面且位于固支梁正下方，金属pad上设有氮化硅绝缘介质层，金属pad的两端分别设有下拉电极，两个下拉电极上均设有氮化硅绝缘介质层。

6.根据权利要求3所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述LC带通滤波器的通带为f₁≤f≤f₂，其中，

7.根据权利要求6所述的面向物联网的驻波能量收集的固支梁LNA，其特征在于，所述LC带阻滤波器的通带为f≤f₃或f≥f₄，其中，f₁＝f₃，f₂＝f₄。