[发明专利]半导体元件测试用分选机及该分选机中的测试支持方法

权利要求书

1.一种半导体元件测试用分选机，其特征在于，包括：

测试批量堆垛机，能够收纳装载有需要测试的半导体元件的客户托盘；

测试支持部，从由所述测试批量堆垛机向引出位置移动过来的客户托盘中引出半导体元件之后将该半导体元件电连接于测试机侧，并根据测试结果而将半导体元件进行分类而引入到位于引入位置的客户托盘或位于重新测试位置的客户托盘，其中，所述引出位置是将需要测试的半导体元件从客户托盘引出的位置，所述引入位置是将通过测试的半导体元件引入到客户托盘的位置，所述重新测试位置是将作为重新测试对象的半导体元件引入到客户托盘的位置；

第一收纳堆垛机，能够收纳所装载的半导体元件被所述测试支持部全部引出之后经过收纳位置而到来的客户托盘，其中，所述收纳位置是所装载的半导体元件被全部引出的空置的客户托盘从引出位置移送过来的位置；

第二收纳堆垛机，能够收纳来自所述引入位置的客户托盘；

第三收纳堆垛机，能够收纳来自所述重新测试位置的客户托盘；

托盘移送器，能够在引出位置、引入位置、重新测试位置之间移送客户托盘，

所述托盘移送器包括：

拾取器，能够拾取客户托盘；

升降器，能够使所述拾取器升降；

水平移动器，能够将所述拾取器移动到引出位置、引入位置、重新测试位置的上方。

2.如权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，所述拾取器具有：

防脱罩，用于防止装载于客户托盘的半导体元件的脱离。

3.如权利要求1所述的半导体元件测试用分选机，其特征在于，还包括：

重新测试失败堆垛机，能够收纳装载有重新测试过程中失败的半导体元件的客户托盘。

4.一种半导体元件测试用分选机，其特征在于，包括：

测试批量堆垛机，能够收纳装载有需要测试的半导体元件的客户托盘；

测试支持部，从由所述测试批量堆垛机向引出位置移动过来的客户托盘中引出半导体元件之后将该半导体元件电连接于测试机侧，并根据测试结果而将半导体元件进行分类而引入到位于引入位置的客户托盘或位于重新测试位置的客户托盘，其中，所述引出位置是将需要测试的半导体元件从客户托盘引出的位置，所述引入位置是将通过测试的半导体元件引入到客户托盘的位置，所述重新测试位置是将作为重新测试对象的半导体元件引入到客户托盘的位置；

第一收纳堆垛机，能够收纳所装载的半导体元件被所述测试支持部全部引出之后经过收纳位置而到来的客户托盘，其中，所述收纳位置是所装载的半导体元件被全部引出的空置的客户托盘从引出位置移送过来的位置；

第二收纳堆垛机，能够收纳来自所述引入位置的客户托盘；

托盘移送器，能够在引出位置、引入位置、重新测试位置之间移送客户托盘；

重新测试批量堆垛机，能够收纳装载有作为重新测试对象的半导体元件的客户托盘，

其中，所述托盘移送器包括：

拾取器，能够拾取客户托盘；

升降器，能够使所述拾取器升降；

水平移动器，能够将所述拾取器移动到引出位置、引入位置、重新测试位置的上方，

装载有作为重新测试对象的半导体元件的客户托盘借助于所述托盘移送器而被移送到所述重新测试批量堆垛机的后方位置，然后被收纳于所述重新测试批量堆垛机。