[发明专利]一种铁电微波滤波器

权利要求书

1.一种铁电微波滤波器，包括金属腔体、设置在金属腔体内的介质谐振器、复合在腔体内的Bi₂NiMnO₆薄膜器件以及设置在腔壁上的调谐螺丝；

所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件包括依次复合的硅衬底、底电极、Bi₂NiMnO₆薄膜和顶电极。

2.根据权利要求1所述的铁电微波滤波器，其特征在于，所述底电极包括SrRuO₃、FTO导电玻璃、ITO导电玻璃、Pt或LaNiO₃；

所述顶电极包括Au、Pt或Al。

3.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜的厚度为100nm～120nm；

所述衬底的厚度为0.5～1mm；

所述底电极的厚度为80nm～90nm。

4.根据权利要求1～3任意一项所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件按照以下步骤制得：

A)将LaNiO₃前驱液涂覆在衬底表面，烘干得到镀有底电极的基底；所述LaNiO₃前驱液由La(NO₃)₃·5H₂O、NiC₄H₆O₄·4H₂O和乙二醇甲醚配制得到；

B)将Bi₂NiMnO₆前驱液涂覆底电极表面，烘干后得到镀有铁电前驱膜的衬底；所述Bi₂NiMnO₆前驱液由Bi(NO₃)₃·5H₂O、Ni(CH₃COO)₂·4H₂O、Mn(CH₃COO)₂·4H₂O和醋酸配制得到；

C)将镀有铁电前驱膜的衬底进行退火，得到镀有铁电薄膜的衬底；

D)在铁电薄膜的表面镀顶电极，得到Bi₂NiMnO₆薄膜器件。

5.根据权利要求4所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述退火在氮气和/或氧气气氛下进行；

所述退火的温度为550～700℃。

6.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述金属腔体为长方形腔体，所述金属腔体的长度为90～120mm；宽度为90～120mm；高度为80～120mm。

7.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述金属腔体腔壁厚度为40～50mm。

8.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述Bi₂NiMnO₆薄膜器件复合在所述金属腔体内部，位于所述金属腔体的中心位置，两端处于开路状态。

9.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述介质谐振器的数量为3～5个；

所述介质谐振器为陶瓷介质谐振器。

10.根据权利要求1所述的铁电薄膜滤波器，其特征在于，所述调谐螺丝与所述介质谐振器成互相垂直方向设置。