[发明专利]超声波器件、超声波组件以及超声波测定装置

权利要求书

1.一种超声波器件，其特征在于，具备：

基板，具有第一开口和第二开口；

支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；

发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及

接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，

相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。

2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述发送用压电膜的膜厚尺寸是300nm以上1800nm以下，

所述接收用压电膜的膜厚尺寸是80nm以上。

3.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

所述支撑膜包括：将所述第一开口堵塞的第一振动部、和将所述第二开口堵塞的第二振动部，

发送换能器构成为包括所述第一振动部和所述发送用压电膜，

接收换能器构成为包括所述第二振动部和所述接收用压电膜，

所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率不同。

4.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于，

所述发送换能器的固有频率与所述接收换能器的固有频率之差是0.2MHz以上0.8MHz以下。

5.根据权利要求3或4所述的超声波器件，其特征在于，

所述接收换能器的固有频率小于所述发送换能器的固有频率。

6.一种超声波组件，其特征在于，具备超声波器件和收纳所述超声波器件的箱体，

所述超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，

相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。

7.一种超声波测定装置，其特征在于，具备超声波器件和控制所述超声波器件的控制部，

所述超声波器件具备：基板，具有第一开口和第二开口；支撑膜，设置在所述基板上，所述支撑膜将所述第一开口和所述第二开口堵塞；发送用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第一开口重叠的位置，在所述基板的厚度方向上被一对电极夹着；以及接收用压电膜，设置在所述支撑膜上，且当从所述基板的厚度方向观察时，设置于与所述第二开口重叠的位置，在与所述基板的厚度方向交叉的交叉方向上被一对电极夹着，

相对于所述基板的厚度方向的所述接收用压电膜的膜厚尺寸小于所述发送用压电膜的膜厚尺寸。