[发明专利]夹持对位装置及方法

权利要求书

1.一种夹持对位装置，其特征在于，包括多个夹持对位机构及至少一个驱动装置，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板周围，每一所述夹持对位机构包括一升降对位部及一夹持部，所述升降对位部的横截面为椭圆形，所述夹持部设置在所述升降对位部的一端且突出于所述升降对位部，所述夹持部的突出方向与所述升降对位部的横截面的短轴的延伸方向具有一夹角，所述升降对位部与所述驱动装置连接，所述驱动装置能够驱动所述升降对位部升降，并能够驱动所述升降对位部在第一位置与第二位置之间旋转，所述升降对位部带动所述夹持部升降并在远离基板的方向及基板上方之间旋转；其中，所述第一位置是指所述升降对位部的长轴与所述待夹持的基板的边缘平行的位置，所述第二位置是指所述升降对位部的短轴与所述待夹持的基板的边缘平行的位置。

2.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，所述夹持部沿椭圆形的长轴方向突出于所述升降对位部。

3.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，在对位之前，所述升降对位部位于第一位置，在对位之后，所述升降对位部位于第二位置。

4.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，每一夹持对位机构对应一驱动装置，或者所有夹持对位机构对应一驱动装置。

5.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，所述升降对位机构位于第二位置时对应的待夹持基板的位置为待夹持基板的标准位置。

6.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板的转角位置。

7.根据权利要求1所述的夹持对位装置，其特征在于，所述基板背离所述夹持部的一面设置在一载板上，所述载板支撑所述基板。

8.一种采用权利要求1～7任意一项所述的夹持对位装置进行夹持对位的方法，其特征在于，包括如下步骤：

在多个夹持对位机构之间放置基板，此时，每一夹持对位机构的所述升降对位部位于第一位置，所述夹持部远离所述基板；

驱动装置驱动每一夹持对位机构的升降对位部旋转，所述升降对位部由第一位置向第二位置旋转，在旋转过程中，所述升降对位部的边缘能够推动所述基板移动，使所述基板进行对位，其中，所述升降对位部位于第二位置时对应的基板的位置为基板的标准位置，所述夹持部在所述升降对位部的带动下从远离基板的方向向基板上方旋转；

当所述升降对位部旋转至第二位置时，所述驱动装置驱动所述升降对位部下降，所述升降对位部带动所述夹持部下降，直至所述夹持部夹持所述基板，完成对所述基板的夹持对位操作。

9.根据权利要求8所述的夹持对位的方法，其特征在于，在需要解除夹持时，所述驱动装置驱动所述升降对位部上升至预设位置，并驱动所述升降对位部由第二位置向第一位置旋转，所述升降对位部的旋转带动所述夹持部从基板上方向远离基板的方向旋转。