[发明专利]一种薄膜应力测试用衬底夹具在审
| 申请号： | 201710714153.6 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109406017A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 装夹部 连接孔 装夹孔 薄膜应力测试 衬底夹具 样品固定 镀膜面 连接件 夹片 平槽 遮挡 穿过 夹具 夹具技术领域 长条状 悬挂孔 治具 背面 保证 | ||
1.一种薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，包括基座和夹片；
所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；
所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。
2.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述装夹部为平槽，且所述平槽的形状与待镀膜样品的形状相匹配。
3.根据权利要求2所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述平槽的深度小于待镀膜样品的厚度。
4.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述夹片的长度小于等于所述基座的宽度。
5.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
通过所述夹片的宽度和所述装夹孔与装夹部的距离来控制待镀膜样品被所述夹片遮挡的竖直方向的距离范围。
6.根据权利要求5所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述距离范围的数值为0.1-0.5mm。
7.根据权利要求2所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述基座呈长方体型。
8.根据权利要求7所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
多个所述平槽呈横纵排相间隔设置。
9.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述连接件为螺钉。
10.根据权利要求1所述的薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，
所述装夹部为凸台，且所述凸台的形状与待镀膜样品的形状相匹配。
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