[发明专利]X射线透射检查装置

说明书

提供X射线透射检查装置，其能够容易地进行基于标准试样的调整。该X射线透射检查装置具有：X射线源(2)，其对试样S1照射X射线；试样移动机构，其在来自X射线源的X射线的照射中使试样向特定方向连续移动；X射线检测器(4)，其相对于试样设置于与X射线源相反的一侧，检测透射过试样的X射线；标准试样移动机构(5)，其能够使设置于不同于试样的位置的标准试样S2移动；以及配置变更机构(6)，其能够使X射线源和X射线检测器与试样和标准试样相对移动，能够将X射线源和X射线检测器从与试样对置的配置状态变更到与通过标准试样移动机构移动的标准试样对置的配置状态。

技术领域

本发明涉及能够检测试样中的微小异物等并容易进行检查的校准(calibration)等调整的X射线透射检查装置。

背景技术

一般情况下，为了检测试样中的微小金属等的异物等，使用通过对试样照射X射线而获取的X射线透射像进行检查的X射线透射检查。例如，近年来，在汽车、混合动力汽车或电动车等所采用的锂离子二次电池中，作为正极的电极在Al膜的两面形成有锰酸锂膜或钴酸锂膜。因此，当混入Fe或SUS等数十μm以上的异物时，可能发生短路而产生电池的烧毁或性能降低，在制造时，通过X射线透射检查来检测异物是否混入并将其去除。

作为这种检测试样中的异物等的X射线透射检查装置，公知实施在线(in-line)检查时，对置配置X射线源和线传感器等X射线检测器以使得夹持向一个方向移动的试样。例如，在专利文献1中提出了通过利用TDI传感器而高灵敏度地检测微小异物的X射线异物检查装置。在该X射线异物检查装置中，使试样的移动速度和TDI传感器的电荷移动速度同步地进行异物的检测。

专利文献1：日本特开2004-257884号公报

在上述现有技术中残留有以下课题。

即，在现有的X射线透射检查装置中，在想要使用预先知道了异物的尺寸和位置的标准试样进行X射线源和X射线检测器的调整(校准等)的情况下，由于以与移动的试样对置的方式设置X射线源和X射线检测器，因此在代替试样而将标准试样设置在与试样相同的位置上的状态下，需要进行标准试样的检查。另外，在标准试样的检查后，也需要将试样重新设置在原来的位置上的作业。因此，需要试样与标准试样的更换作业，从而存在必须使检查作业长时间中断的不良情况。尤其在检查带状的试样的情况下，由于以从辊到辊的方式连续地流动试样并进行检查，因此很难在中途中断检查而将试样更换为标准试样并进行检查。

发明内容

本发明就是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供能够容易地进行基于标准试样的调整的X射线透射检查装置。

为了解决上述课题，本发明采用以下结构。

即，本发明的X射线透射检查装置的特征在于，所述X射线透射检查装置具有：X射线源，其对试样照射X射线；试样移动机构，其在来自所述X射线源的X射线的照射中使所述试样向特定方向连续移动；X射线检测器，其相对于所述试样设置在与所述X射线源相反的一侧，检测透射过所述试样的所述X射线；标准试样移动机构，其能够使设置于不同于所述试样的位置的标准试样移动；以及配置变更机构，其能够使所述X射线源和所述X射线检测器与所述试样和所述标准试样相对移动，能够将所述X射线源和所述X射线检测器从与所述试样对置的配置状态变更到与通过所述标准试样移动机构移动的所述标准试样对置的配置状态。

在该X射线透射检查装置中，由于具有能够使X射线源和X射线检测器与试样和标准试样相对移动，能够将X射线源和X射线检测器从与试样对置的配置状态变更到与通过标准试样移动机构移动的标准试样对置的配置状态的配置变更机构，因此在进行基于标准试样的校准等调整时，通过配置变更机构能够使X射线源和X射线检测器从作为试样的检查位置的行(line)线上退避而进行标准试样的检查，从而不会产生对试样的干涉，检查部等的维护也变得容易。因此，不需要试样与标准试样的更换作业，即使在多个或长条的试样的检查中途，也不需要将试样从检查线取下，从而能够容易地进行校准等调整。