[发明专利]以能量有效方式干燥薄膜的方法

权利要求书

1.一种用于干燥具有位于基板上的薄膜的薄膜叠层的方法，所述方法包括：

将所述薄膜叠层传送通过闪光灯；以及

用复合光脉冲照射所述薄膜叠层以将溶剂从所述薄膜移除，其中所述复合光脉冲由来自所述闪光灯的多个微脉冲形成，其中所述复合光脉冲的总持续时间短于所述薄膜叠层的总热平衡时间，其中所述薄膜叠层的所述总热平衡时间等于所述薄膜的热平衡时间和所述基板的热平衡时间的组合，其中所述薄膜叠层的总热平衡时间是：

其中τ₁和τ₂分别是所述薄膜和基板的热平衡时间，

其中

其中c₁＝所述薄膜的比热

ρ₁＝所述薄膜的质量密度

x₁＝所述薄膜的厚度

κ₁＝所述薄膜的导热率

以及，其中

C₂＝所述基板的比热

ρ₂＝所述基板的质量密度

x₂＝所述基板的厚度

κ₂＝所述基板的导热率。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述传送还包括在所述复合光脉冲正被传递的时间期间，在传递方向上将所述薄膜叠层传送小于10％的所述闪光灯的照射区域的长度。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述薄膜叠层的所述总热平衡时间与所述基板的热平衡时间近似相同。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述微脉冲具有相同的定时。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述微脉冲具有不同的定时。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述微脉冲通过电压、脉冲长度、入射所述基板上任何给定区域中的微脉冲的平均数量、脉冲重复频率、微脉冲的数量和占空比而整形。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述基板具有小于450℃的最大加工温度。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述复合光脉冲的瞬时面功率密度大于相同脉冲长度的单脉冲损坏阈值。

9.如权利要求1所述的方法，其中在处理期间在所述薄膜叠层内的位置处维持恒定温度。

10.如权利要求1所述的方法，其中沉积到所述薄膜叠层的总能量小于加热所述薄膜叠层达到所述基板的最大加工温度所需的能量的量。

11.一种用于热处理具有位于基板上的薄膜的薄膜叠层的设备，所述设备包括：

闪光灯；

传送器，用于将所述薄膜叠层传送通过所述闪光灯；以及

闪光灯控制器，用于控制所述闪光灯以用复合光脉冲照射所述薄膜叠层以将溶剂从所述薄膜移除，其中所述复合光脉冲由来自所述闪光灯的多个微脉冲形成，其中所述复合光脉冲的总持续时间短于所述薄膜叠层的总热平衡时间，其中所述薄膜叠层的所述总热平衡时间等于所述薄膜的热平衡时间和所述基板的热平衡时间的组合，其中所述薄膜叠层的总热平衡时间是：

其中τ₁和τ₂分别是所述薄膜和基板的热平衡时间，

其中

其中c₁＝所述薄膜的比热

ρ₁＝所述薄膜的质量密度

x₁＝所述薄膜的厚度

κ₁＝所述薄膜的导热率

以及，其中

C₂＝所述基板的比热

ρ₂＝所述基板的质量密度

x₂＝所述基板的厚度

κ₂＝所述基板的导热率。