[发明专利]一种电解加工平面曲折群沟槽的装置

权利要求书

1.一种电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，包括具有腔体的夹具，所述腔体内嵌有用于安装工件的衬底，所述工件上表面贴合安装有硬质模板，所述硬质模板上开设有蛇形流道，所述硬质模板的上表面贴合安装有阴极板；所述夹具上分别开设有进液口和出液口，所述进液口用于向所述腔体内注入电解液与气体，且所述进液口与所述硬质模板之间设置有用于将所述电解液与所述气体均匀混合的网孔板。

2.根据权利要求1所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，所述网孔板并列设置有多级，相邻两级所述网孔板之间具有预设间隙。

3.根据权利要求2所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，多级网孔板的顶端和底端分别通过底板和顶板连接，且所述顶板与所述腔体的顶面贴合、所述底板与所述腔体的底面贴合。

4.根据权利要求1所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，所述进液口与所述出液口分别位于所述硬质模板的两侧。

5.根据权利要求1-4任一项所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，所述阴极板、所述硬质模板与所述工件通过机械压力紧密贴合。

6.根据权利要求5所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，所述阴极板、所述硬质模板与所述工件通过锁扣夹紧。

7.根据权利要求1-4任一项所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，还包括直流电源，所述直流电源的正极与所述工件电性连接，负极与所述负极板电性连接。

8.根据权利要求1-4任一项所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，还包括用于盛放所述电解液的水槽和存储有气体的气瓶，所述水槽与所述进液口之间连接有水泵，所述气瓶与所述进液口之间连接有气泵，所述出液口与所述水槽连接。

9.根据权利要求1所述的电解加工平面曲折群沟槽的装置，其特征在于，所述硬质模板的蛇形流道为通过3D打印或微铣削工艺形成。