[发明专利]一种柔性散热薄膜及其制作方法和复合柔性散热薄膜有效

专利信息
申请号: 201710718681.9 申请日: 2017-08-21
公开(公告)号: CN107564874B 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 兰育辉;荣辉;雷志涛;徐鹏 申请(专利权)人: 硕阳科技股份公司
主分类号: H01L23/373 分类号: H01L23/373;H01L21/48
代理公司: 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 代理人: 靳静
地址: 214000 江苏省无锡市惠山经济*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 散热 薄膜 及其 制作方法 复合
【权利要求书】:

1.一种柔性散热薄膜,其特征在于:该薄膜包括泡沫金属基材层、位于所述的泡沫金属基材层上、下侧的改性石墨烯浆料层,所述改性石墨烯浆料层中的改性石墨烯浆料至少有部分渗透到所述的泡沫金属基材层中,所述薄膜的厚度为5μm~500μm;其中,所述的泡沫金属基材层中的金属为铜、镍、银、铝中的至少一种,所述的改性石墨烯浆料层是指含有由石墨烯、纳米金属、金属氧化物和金属氮化物组成的特性材料的浆料层。

2.根据权利要求1所述的柔性散热薄膜,其特征在于:所述的改性石墨烯浆料层中含有质量百分含量为0.02%~5%的特性材料。

3.根据权利要求1所述的柔性散热薄膜,其特征在于:所述的改性石墨烯浆料层中含有如下重量份的组分:石墨烯0.1~5份,纳米银0.05~1.5份,纳米铜0.5~3.0份,金属氧化物0.01~0.5份,金属氮化物0.02~1.2份,高分子粘合剂92~98份。

4.一种如权利要求1~3中任意一项所述的柔性散热薄膜的制作方法,其特征在于:该方法包括在泡沫金属基材的外表面上涂覆改性石墨烯浆料,而后进行烘干,再压延。

5.根据权利要求4所述的柔性散热薄膜的制作方法,其特征在于:将所述的改性石墨烯浆料涂覆于泡沫金属基材的外表面所采用的工艺选自浸涂工艺、滚涂工艺、喷涂工艺、挤出涂覆工艺或镀膜工艺中的一种或多种组合。

6.根据权利要求4所述的柔性散热薄膜的制作方法,其特征在于:所述的烘干采用低温真空烘干,烘干温度控制在30℃~50℃之间,真空度为0.08~0.09MPa之间。

7.根据权利要求4所述的柔性散热薄膜的制作方法,其特征在于:所述的方法还包括在所述的烘干步骤后依次进行的真空碳化、真空镀膜处理。

8.根据权利要求4所述的柔性散热薄膜的制作方法,其特征在于:所述的泡沫金属基材为厚度为0.1mm ~ 10mm、宽度为5mm ~ 2000mm的卷材或片材,所述的泡沫金属基材的泡沬孔径为0.1mm ~ 2mm、孔隙率为50% ~ 98%、通孔率≥98% 、体积密度为0.1 ~ 0.8g/cm3

9.一种复合柔性散热薄膜,其特征在于:含有多层如权利要求1~3中任意一项所述的柔性散热薄膜。

10.权利要求9所述的复合柔性散热薄膜,其特征在于:多层所述的柔性散热薄膜通过冷压或高温压延成型。

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