[发明专利]一种胶体烧结设备及胶体烧结方法有效
申请号: | 201710718959.2 | 申请日: | 2017-08-21 |
公开(公告)号: | CN107482135B | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 张亮;陈旭;黄俊杰;包珊珊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 胶体 烧结 设备 方法 | ||
1.一种胶体烧结设备,其特征在于,包括:
发射模块、移动模块、检测模块以及控制模块;
所述发射模块对应有一照射区域,用于向所述照射区域发射激光;
所述移动模块用于控制所述发射模块的照射区域发生移动,以使所述照射区域覆盖到待烧结的胶体上,并沿所述胶体的延伸方向进行移动;
所述检测模块用于检测所述照射区域覆盖的胶体的结构信息;
所述控制模块根据所述结构信息,调整所述发射模块发射激光的工作参数;
所述控制模块具体根据公式调整所述发射模块发射激光的光斑的半径R;
其中,J为胶体熔化所需的能量,与所述检测模块获得的胶体的宽度具有预设对应关系;θ为既定角度,V为所述照射区域被所述移动模块移动的速度,W为所述发射模块发射激光的功率。
2.根据权利要求1所述的胶体烧结设备,其特征在于,
所述检测模块具体用于:
检测所述照射区域覆盖的胶体在第一方向上的宽度,所述第一方向垂直于所述胶体的延伸方向。
3.根据权利要求2所述的胶体烧结设备,其特征在于,
所述控制模块具体根据所述检测模块获得的胶体的宽度,调整所述发射模块发射激光的光斑大小。
4.一种胶体烧结方法,其特征在于,包括:
对照射区域发射激光;
移动所述照射区域,以使所述照射区域覆盖到所述烧结起始位置的胶体上,并沿所述胶体的延伸方向进行移动;
检测所述照射区域覆盖的胶体的结构信息;
根据所述结构信息,调整发射激光的工作参数;
所述工作参数包括发射激光的光斑大小,所述光斑的半径大小为R,
其中,J为胶体熔化所需能量,与检测模块获得的胶体的宽度具有预设对应关系;θ为既定角度,V为所述照射区域被移动模块移动的速度,W为发射模块发射激光的功率。
5.根据权利要求4所述的胶体烧结方法,其特征在于,
所述胶体烧结方法具体包括:
确定待烧结的胶体在烧结起始位置的结构信息;
基于所述胶体在烧结起始位置的结构信息,确定所述发射激光的初始工作参数;
照所述初始工作参数,对照射区域发射激光;
对所照射区域进行移动,以使所述照射区域覆盖到所述烧结起始位置的胶体上,并沿所述胶体的延伸方向进行移动;
在移动所述照射区域过程中,实时获取所述照射区域覆盖的胶体的结构信息;
基于实时获取的结构信息,调整发射激光的工作参数。
6.根据权利要求4所述的胶体烧结方法,其特征在于,
所述结构信息包括胶体在第一方向上的宽度,所述第一方向垂直于所述胶体的延伸方向。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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