[发明专利]电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置

权利要求书

1.电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，包括电容传感单元和电离传感单元，电容传感单元由金属层-绝缘介质层-金属层三层结构的靶标组成，电离传感单元由栅格和若干平行交错设置的电极组成，且电离传感单元位于电容传感单元上方，相距一定距离，其中，栅格接地，电极按奇偶顺序设置在格栅上，奇数序号电极接高电压，偶数序号电极接地，同时奇数序号电极还与电离传感器放大器电路连接，电容传感单元表面金属层接电压负极，另一金属层接电阻，然后接电源正极。

2.如权利要求1所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，奇数序号电极接高电压为300V。

3.如权利要求1所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，所有的奇数序号电极末端都一起连接至信号放大器电路，所有的偶数序号电极末端都一起连接接地。

4.如权利要求1所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，空间微小碎片穿过电离传感单元栅格和电极的间隙，撞击电容传感单元的上层金属层，撞击作用下产生冲击波和热量，导致电容传感单元电阻系数瞬时减小，从上层金属层测量得到电容放电电压。

5.如权利要求1-4任一项所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，金属层为铝或银。

6.如权利要求1-4任一项所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，金属层的厚度不同，要大于空间碎片直径。

7.如权利要求1-4任一项所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，绝缘介质层为聚甲基丙烯酸甲酯或聚硅氧烷。

8.如权利要求1-4任一项所述的电容-电离耦合式空间微米级碎片探测装置，其中，两层金属层为厚20μm的铝，绝缘介质为厚1.5μm聚甲基丙烯酸甲酯，电容探测单元电压U_C为200V，电离单元U_I电压为300V。