[发明专利]一种单片式清洗设备的cup装置

权利要求书

1.一种单片式清洗设备的cup装置，其特征在于，包括cup本体，所述cup本体包括可移动部(1)、固定部(2)及升降装置(3)；

所述可移动部(1)设置于所述cup本体的侧面的一部分中，在所述升降装置(3)的驱动下进行移动，以将晶圆传入或传出所述cup本体的腔体；

所述固定部(2)设置于所述cup本体的侧面的另一部分中，所述固定部(2)与所述可移动部(1)构成所述cup本体的完整侧面。

2.根据权利要求1所述的cup装置，其特征在于，所述可移动部(1)的尺寸大于晶圆的尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的cup装置，其特征在于，所述升降装置(3)的数量为一个，设置于所述可移动部(1)的上边沿处。

4.根据权利要求3所述的cup装置，其特征在于，在晶圆传入所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)上升；在晶圆传出所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)下降。

5.根据权利要求1或2所述的cup装置，其特征在于，所述升降装置(3)的数量为两个，设置于所述可移动部(1)的下边沿处，并且两个所述升降装置(3)之间相隔一预设距离。

6.根据权利要求5所述的cup装置，其特征在于，在晶圆传入所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)下降；在晶圆传出所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)上升。

7.根据权利要求5所述的cup装置，其特征在于，在晶圆传入所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)上升；在晶圆传出所述cup本体的腔体前，所述升降装置(3)驱动所述可移动部(1)下降。