[发明专利]超声换能器和制造超声换能器的方法

权利要求书

1.制造换能器元件的声学阵列的方法，包括：

提供多个声换能器元件，其中每个声换能器元件通过以下步骤形成：

提供多个压电层，其中每个压电层具有限定其空间范围的相应的多个维度，所述多个维度包括沿第一轴线的第一维度，所述压电层在由沿与所述第一轴线垂直的第二轴线施加的电驱动信号激发时沿所述第一轴线辐射声能，每个压电层具有信号电极和接地电极；

提供多个导电箔，所述多个导电箔充当电极以向所述压电层传输电驱动信号，其中所述多个导电箔插设在所述多个压电层之间以限定一组信号电极和接地电极，使得相邻的一对压电层共享位于该对压电层之间的相同电极，将所述接地电极连接形成公共接地电极，所述公共接地电极包括沿着所述声换能器元件的外侧延伸的外部接地电极，使得所述第二轴线垂直于所述外部接地电极；以及

至少沿与所述第一轴线垂直的方向机械地布置多个所述声换能器元件使得相邻的一对声换能器元件的外部接地电极接触。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述布置的步骤包括沿着单个轴线相对于彼此布置所述压电层。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述布置的步骤包括沿着均与所述第一轴线垂直的两个维度布置所述压电层。

4.如权利要求3所述的方法，还包括向所述阵列的表面施加低温焊料，以将所述压电层连接至所述阵列。

5.制造换能器元件的声学阵列的方法，包括：

提供多个声换能器元件，其中每个所述声换能器元件具有限定其空间范围的相应多个维度，所述多个维度包括沿第一轴线的第一维度，所述声换能器元件在由沿与所述第一轴线垂直的第二轴线施加的电驱动信号激发时沿所述第一轴线辐射声能，每个所述声换能器元件包括多个压电层，其中每个压电层沿着所述第一轴线机械地响应于接收到的电驱动信号，以便在通过沿着所述第二轴线电耦合到所述每个压电层的对应相对面的、一对电极施加所述接收到的电驱动信号后，沿着所述第一轴线振动；

其中所述多个压电层相对于彼此布置在压电堆中，使得设置在两个相邻的压电层之间的公共电极在所述两个相邻的压电层之间被共享；

其中第一组非相邻公共电极并联连接以形成公共信号电极，以及第二组非相邻公共电极并联连接以形成公共接地电极，所述公共接地电极包括沿着每个声换能器元件的外侧延伸的外部接地电极以使得所述第二轴线垂直于所述外部接地电极；

其中，所述方法还包括：

至少沿着与所述第一轴线垂直的方向机械地布置多个所述声换能器元件，使得相邻的一对声换能器元件的外部接地电极接触。