[发明专利]致动器组件、包括该致动器组件的机械组件以及其制造方法

权利要求书

1.致动器组件(50)，其包括：

压电元件(60)，其具有第一侧(61)和相对的第二侧(62)；

第一电极(70)，其与所述第一侧电连通，其中所述第一电极包括柔性导电膜(72)；和

第二电极(80)，其与所述第二侧电连通。

2.根据权利要求1所述的致动器组件(50)，其中所述柔性导电膜(72)包括以下中的至少一种：

(i)有机膜；

(ii)聚合物膜；

(iii)碳纤维膜；和

(iv)席纹或方平组织的碳纤维膜。

3.根据权利要求1所述的致动器组件(50)，其中所述柔性导电膜(72)与所述压电元件(60)的所述第一侧(61)直接物理接触。

4.根据权利要求1所述的致动器组件(50)，其中所述第一电极(70)进一步包括金属薄膜(76)，其中所述金属薄膜在所述压电元件(60)的所述第一侧(61)和所述柔性导电膜(72)之间延伸并电互连所述压电元件(60)的所述第一侧(61)和所述柔性导电膜(72)。

5.根据权利要求4所述的致动器组件(50)，其中所述致动器组件进一步包括粘合所述柔性导电膜(72)至所述金属薄膜(76)的导电粘合剂(90)。

6.根据权利要求5所述的致动器组件(50)，其中所述导电粘合剂(90)包括以下中的至少一种：

(i)导电胶黏剂；

(ii)导电树脂；

(iii)导电环氧树脂；

(iv)碳浸渍的环氧树脂；和

(v)碳纤维浸渍的环氧树脂。

7.根据权利要求4所述的致动器组件(50)，其中所述金属薄膜(76)或第一金属薄膜包括由多个裂纹(79)分离的多个薄膜区域(78)，和进一步其中所述柔性导电膜(72)电互连或并联所述多个薄膜区域。

8.制造致动器组件(50)的方法(100)，所述方法包括：

在压电元件(60)的第一侧(61)上限定(110)第一电极(70)，其中所述限定所述第一电极包括可操作地贴附柔性导电膜(72)至所述压电元件的所述第一侧，使得所述柔性导电膜与所述压电元件的所述第一侧电连通；和

在所述压电元件的第二侧(62)上限定(120)第二电极(80)。

9.根据权利要求8所述的方法(100)，其中所述限定(110)所述第一电极(70)进一步包括在所述压电元件(60)的所述第一侧(61)上限定(112)第一金属薄膜(76)，其中所述限定所述第一金属薄膜在所述可操作地贴附(114)所述柔性导电膜(72)之前，和进一步其中所述可操作地贴附所述柔性导电膜包括可操作地贴附，使得所述第一金属薄膜在所述压电元件的所述第一侧和所述柔性导电膜之间延伸并分离所述压电元件的所述第一侧和所述柔性导电膜。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述限定(112)所述第一金属薄膜(76)包括在所述压电元件(60)的所述第一侧(61)上沉积所述第一金属薄膜。