[发明专利]一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属锂蒸发装置中包括：开孔组件，开孔组件包括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一一对应的开孔针；当针体支撑板处于第一工位时，每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内，当针体支撑板处于第二工位时，每一个开孔针自蒸发坩埚内脱离；用于驱动针体支撑板动作的第一驱动组件。开孔针插入锂块形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，节约升温时间，提高了金属锂蒸发的均匀性。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法。

背景技术

当代在显示领域中OLED显示屏应用广泛，且应用前景良好，OLED发光原理为:施加一正向偏压，空穴和电子克服界面能障后，由阴极和阳极注入，穿过功能层，电子和空穴在有发光特性的有机物质内结合形成激子，此激子态不稳定，当激子返回到基态时，形成退激发光。OLED是有多种功能层堆叠组成的发光器件，目前OLED的主要制作工艺是蒸镀技术，为改善载流子的注入、传输能力，发光效率、器件寿命等特性，OLED器件多采用串联结构(CGL层)，其中CGL层不可缺少金属锂。但是，传统的金属锂的填料方法存在很大不足，从材料的制备、填料、腔室关闭、抽真空至腔室内真空度达到工艺要求这段过程中，金属锂一直裸露在空气中，使得金属锂被氧化、氮化等，金属锂表面的氧化层或氮化层会阻止金属锂的蒸发，当前采用高温爆冲的方法，但该方法耗时很长(约10个小时)，并且蒸发极不均匀，使制备出来的OLED器件的寿命、效率、亮度等存在很大缺陷。

发明内容

本发明提供了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属蒸镀装置中，通过开孔针插入锂块，在锂块上形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块因在空气中放置太久表面被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，使金属锂容易蒸发，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，既节约升温时间，又提高了金属锂蒸发的均匀性，进而有效的缓解了当前金属锂的蒸发工艺造成的器件效率、电压、寿命等指标不均匀的情况。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种金属锂蒸发装置，包括：

真空腔壳体；

安装于所述真空腔壳体内的蒸发坩埚，所述蒸发坩埚包括埚体和用于盖合所述埚体的盖体，所述盖体上设有多个蒸发孔；

开孔组件，所述开孔组件包括针体支撑板、安装于所述针体支撑板且与所述蒸发孔一一对应的开孔针；当所述针体支撑板处于第一工位时，每一个所述开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以插入至所述蒸发坩埚内的金属锂内，当所述针体支撑板处于第二工位时，每一个所述开孔针自所述蒸发坩埚内脱离；

用于驱动所述针体支撑板动作的第一驱动组件。

上述金属锂蒸发装置中，将块状金属锂放置在蒸发坩埚内，盖体盖合埚体，且盖体上有多个蒸发孔，给锂块开孔时，开孔组件的针体支撑板与盖体相对，每一个开孔针与蒸发孔一一对齐，第一驱动组件驱动针体支撑板朝向盖体的方向移动至第一工位，即每一个开孔针贯穿对应的蒸发孔伸入蒸发坩埚内并插入锂块内一定深度，然后第一驱动组件驱动针体支撑板朝远离蒸发坩埚的方向移动至第二工位，使针体在锂块内抽离并从蒸发坩埚内脱离，则，锂块上形成了与蒸发孔一一对应的开孔。

因此，上述金属锂蒸发装置中，通过开孔针插入锂块，在锂块上形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块因在空气中放置太久表面被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，使金属锂容易蒸发，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，既节约升温时间，又提高了金属锂蒸发的均匀性，进而有效的缓解了当前金属锂的蒸发工艺造成的器件效率、电压、寿命等指标不均匀的情况。