[发明专利]一种CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置在审
申请号: | 201710729049.4 | 申请日: | 2017-08-23 |
公开(公告)号: | CN107299389A | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 马四海;张笑天;马青 | 申请(专利权)人: | 马四海 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 | 代理人: | 刘跃 |
地址: | 230000 安徽省合肥市新站区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cz 直拉法硅单晶炉副室取棒 装置 | ||
1.一种CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,包括有基座,其特征在于:所述基座上架设有固定框架,所述固定框架上设有可升降的升降平台,所述升降平台由其底端的液压缸驱动,所述升降平台上安装有伸缩臂,所述伸缩臂由其后端的丝杆驱动,所述伸缩臂的前端安装有抱夹装置。
2.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的基座的底端安装有行走轮,所述基座上分布有可升降的支撑杆。
3.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的升降平台的四个拐角分别设有导向轮,所述导向轮与固定框架立柱上的导轨导向配合。
4.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述固定框架的上端部分别安装有两相对应的固定梁,所述固定梁上分别安装有滑轮,所述滑轮中有钢丝绳绕过,所述钢丝绳的一端固定在升降平台上,另一端固定在液压缸的缸体固定板上。
5.根据权利要求4所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的滑轮为四个,两两对称设置在固定梁上,所述的液压缸为两个。
6.根据权利要求1所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的抱夹装置包括有安装在伸缩臂前端的固定板,所述固定板上安装有上下间隔成列设置的抱夹,所述抱夹分别包括有两相互对应设置的左、右夹爪,所述左、右夹爪的两端分别通过槽形连杆连接,所述槽形连杆的两端拐角处分别通过转销铰接在固定座上,所述固定座安装在固定板上,所述槽形连杆的中部通过顶杆与固定板导向配合,且顶杆上套装有与固定板旋合的中空的丝杆管,且顶杆的端部安装有限位板。
7.根据权利要求6所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的抱夹为三个,上下间隔设置。
8.根据权利要求6所述的CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置,其特征在于:所述的槽形连杆的内拐角处设有用于连接相邻连杆的弧形加固拐臂。
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