[发明专利]提高钕铁硼磁体矫顽力和抗腐蚀性的制备方法

权利要求书

1.提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一：将制备好的钕铁硼永磁体，经过机加工制备成在取向方向的厚度3～10mm的磁体，依次经过碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干，获得没有锈迹的干净表面；

步骤二：将步骤一中的永磁体放入镀膜室中的工件架上，将镀膜室的真空抽至5×10^-2Pa～5×10^-3Pa，加热使永磁体温度保持在800-950 ℃之间；

步骤三：启动镀膜室里的多弧阴极蒸发器，平面磁溅射靶和旋转工件架，进行5-20小时的磁控多弧溅射镀Dy或Tb；

步骤四：维持镀膜室在真空下冷却60-90 分钟到室温，再将磁体加热到450-550 ℃之间保持1-2小时，进行时效处理；

步骤五：维持镀膜室已确定的真空度，冷却磁体到室温，充入Ar或其他惰性气体后，打开镀膜室；

步骤六：将磁体表面剩余的Dy或Tb层经过磨加工去除，获得光洁表面；

步骤七：将步骤六的磁体采用碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干，获得干净的表面；

步骤八：将已渗Dy或Tb的磁体，再次放在旋转工件架上，关闭镀膜室，将镀膜室真空抽至4×10^-3Pa～5×10^-3Pa，并加热使磁体温度保持在270-350 ℃之间；

步骤九：启动镀膜室的多弧阴极蒸发器，平面磁溅射靶和旋转工件架进行2-10小时镀Al膜；

步骤十：维持镀膜室真空，冷却磁体至室温，充气，打开镀膜室。

2.根据权利要求1所述的提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征是本发明的钕铁硼磁体具有Nd₂Fe₁₄ B相和晶界相。

3.根据权利要求1所述的提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征是步骤三所述的Dy或Tb的膜厚度为5-20μm。

4.根据权利要求1所述的提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征是步骤三所述的Dy或Tb渗进磁体内部的厚度为5-500μm。

5.根据权利要求1所述的提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征是步骤九所述的AL膜的厚度为3-10 μm。