[发明专利]一种工作平台

权利要求书

1.一种工作平台，包括基台、移动台、安装在所述基台上且对所述移动台导向的第一导轨，其特征在于，还包括第一气浮轴承，所述第一气浮轴承套设在所述第一导轨上并且内腔在正压状态下能够沿所述第一导轨导向方向滑动、内腔在负压状态下能够吸附固定在所述第一导轨上，所述第一气浮轴承与所述移动台沿所述第一导轨的导向方向相对固定。

2.根据权利要求1所述的工作平台，其特征在于，包括安装在所述基台上且对所述移动台导向的第二导轨和套设在所述第二导轨上的第二气浮轴承，所述第二气浮轴承的内腔在正压状态下能够沿所述第二导轨导向方向滑动、在负压状态下能够吸附固定在第二导轨上，所述第二气浮轴承与所述移动台沿所述第二导轨的导向方向相对固定，所述第一导轨的导向方向与所述第二导轨的导向方向交叉设置。

3.根据权利要求2所述的工作平台，其特征在于，包括沿所述第二导轨导向方向驱动所述移动台的第一直线驱动机构和沿所述第一导轨导向方向驱动所述移动台的第二直线驱动机构，所述第一直线驱动机构安装在所述第一气浮轴承与所述移动台之间，所述第二直线驱动机构安装在所述第二气浮轴承与所述移动台之间。

4.根据权利要求3所述的工作平台，其特征在于，所述第一直线驱动机构和所述第二直线驱动机构均为直线电机。

5.根据权利要求2-4任一项所述的工作平台，其特征在于，还包括与所述移动台相对固定的中间件，所述第一导轨套设有第三气浮轴承，所述第二导轨上套设有第四气浮轴承，所述中间件上设置有沿所述第二导轨导向方向对所述第三气浮轴承导向的第一导向槽、设置有沿所述第一导轨导向方向对所述第四气浮轴承导向的第二导向槽。

6.根据权利要求5所述的工作平台，其特征在于，所述移动台的底侧设置有支撑腿。

7.根据权利要求6所述的工作平台，其特征在于，所述支撑腿的下端安装有气浮脚。

8.根据权利要求7所述的工作平台，其特征在于，所述第一导轨的两端以及所述第二导轨的两端均分别设置有能够负压吸附在所述基台上的吸附装置。