[发明专利]一种用于图像传感器的有机光电探测器及其制备方法在审
申请号: | 201710737228.2 | 申请日: | 2017-08-24 |
公开(公告)号: | CN107634145A | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 安涛;吴俊宇 | 申请(专利权)人: | 西安理工大学 |
主分类号: | H01L51/46 | 分类号: | H01L51/46;H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人: | 谈耀文 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 图像传感器 有机 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于图像传感器的有机光电探测器,其特征在于,包括玻璃基片(1),玻璃基片(1)上表面设置有ITO电极层(2),玻璃基片(1)上表面上还自下而上依次涂覆有阳极缓冲层(3)、前置吸收层(4)、主体活性层(5)、阴极缓冲层(6)以及Al电极层(7);
所述阳极缓冲层(3)由MoO3层和NPB层构成,所述前置吸收层(4)为P3HT层,所述主体活性层(5)为由电子给体材料PBDT-TT-F和电子受体材料PC71BM构成的复合层,所述阴极缓冲层(6)由BCP层和MoO3层构成。
2.如权利要求1所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器,其特征在于,所述前置吸收层(4)中的P3HT与主体活性层(5)中的PC71BM形成平面异质结,所述主体活性层(5)中的PBDT-TT-F与PC71BM形成体异质结。
3.如权利要求1或2所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器,其特征在于,所述PBDT-TT-F和PC71BM的质量比为1:1.5。
4.如权利要求1所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器,其特征在于,所述阳极缓冲层(3)中MoO3层厚度为2.5nm~3.5nm,NPB层厚度为0.8nm~1.2nm;所述前置吸收层(4)厚度为15nm~25nm,所述主体活性层(5)厚度为90nm~100nm;所述阴极缓冲层(6)中的BCP层厚度为0.8nm~1.2nm,MoO3层厚度为2.5nm~3.5nm;所述Al电极层(7)的厚度为90nm~110nm。
5.一种用于图像传感器的有机光电探测器的制备方法,其特征在于,具体包含以下步骤:
步骤1:先在玻璃基片(1)上镀ITO电极层(2),然后采用湿法清洗镀有ITO电极层(2)的玻璃基片(1),再用纯氮气吹干或红外烘干;
步骤2:将经步骤1处理后的玻璃基片(1)用紫外臭氧光清洗后,再放置于真空蒸镀室中蒸镀MoO3层和NPB层,在玻璃基片(1)上形成阳极缓冲层(3);
步骤3:将P3HT用氯苯溶解后旋涂在经步骤2得到的玻璃基片(1)上,然后烘干,在玻璃基片(1)上形成前置吸收层(4);
步骤4:先将PBDT-TT-F和PC71BM溶于二氯甲烷中形成混合物,然后将混合物旋涂经步骤3所得的玻璃基片(1)上,再烘干,在玻璃基片(1)上形成主体活性层(5);
步骤5:先将经步骤4所得到的玻璃基片(1)放入真空蒸镀机中蒸镀阴极缓冲层(6),然后沉积Al电极层(7);
步骤6:将经步骤5所得的玻璃基片(1)加热到120℃,恒温保持15min~20min,之后将温度降到室温。
6.如权利要求5所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤1中,湿法清洗的过程为:先采用去离子水对玻璃基片1进行超声清洗25min~30min,接着采用丙酮对玻璃基片1进行超声清洗25min~30min,最后采用无水乙醇超声清洗25min~30min。
7.如权利要求5所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器的制备方法,其特征在于,所述PBDT-TT-F和PC71BM的质量比为1:1.5。
8.如权利要求5所述的一种用于图像传感器的有机光电探测器的制备方法,其特征在于,所述阳极缓冲层(3)中MoO3层厚度为2.5nm~3.5nm,NPB层厚度为0.8nm~1.2nm;所述前置吸收层(4)厚度为15nm~25nm,所述主体活性层(5)厚度为90nm~100nm;所述阴极缓冲层(6)中的BCP层厚度为0.8nm~1.2nm,MoO3层厚度为2.5nm~3.5nm;所述Al电极层(7)的厚度为90nm~110nm。
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