[发明专利]一种聚酰亚胺薄膜位置测量方法及对位标记

权利要求书

1.一种聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，包括下述步骤：

提供一基板，在所述基板上印刷对位标记，所述对位标记为对称的规则图形，且所述对位标记的中心与所述基板的中心重合；

以所述对位标记的中心为原点，在所述对位标记上按照预设间距标注刻度；

在所述基板上印刷有所述对位标记的一面制备聚酰亚胺薄膜，根据所述对位标记测量聚酰亚胺薄膜的位置，判断制备的聚酰亚胺薄膜是否出现偏移。

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，所述预设间距最大值为200微米。

3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，所述对位标记由第一矩形和四个相同的第二矩形构成，所述四个相同的第二矩形分别与所述第一矩形的不同边相重合，且相对的两个所述第二矩形的中心与所述第一矩形的中心在同一直线上；

其中，所述对位标记每一边的边长均为所述预设间距的整数倍。

4.根据权利要求3所述的聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，在所述对位标记上按照预设间距标注刻度，具体为：

根据所述原点绘制横坐标轴和纵坐标轴，并在所述横坐标轴和所述纵坐标轴上按照所述预设间距标注刻度；其中，所述横坐标轴与一组相对的所述第二矩形的中心连线重合，所述纵坐标轴与另一组相对的所述第二矩形的中心连线重合，所述横坐标轴的长度不小于所述对位标记在所述横坐标轴方向上的长度，且所述纵坐标轴的长度不小于所述对位标记在所述纵坐标轴方向上的长度。

5.根据权利要求3所述的聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，在所述对位标记上按照预设间距标注刻度，具体为：

在所述对位标记上标注所述对位标记顶点对应的刻度；

当所述对位标记上相邻顶点之间的距离大于所述预设间距时，根据所述预设间距将所述相邻顶点之间的连线进行等分，且标注等分点对应的刻度。

6.根据权利要求5所述的聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，在所述对位标记的刻度包括横向刻度和纵向刻度，其中，以一组相对的所述第二矩形的中心连线方向为横向，另一组相对的所述第二矩形的中心连线方向为纵向；

所述聚酰亚胺薄膜位置测量方法，还包括下述步骤：

将所述等分点之间两两连线，以将所述对位标记分割成若干边长为所述预设间距的正方形。

7.一种对位标记，用于测量基板上聚酰亚胺薄膜的位置，其特征在于，所述对位标记为对称的规则图形，且所述对位标记的中心与所述基板的中心重合，以所述对位标记的中心为原点，在所述对位标记上按照预设间距标注有刻度。

8.根据权利要求7所述的对位标记，其特征在于，所述对位标记由第一矩形和四个相同的第二矩形构成，所述四个相同的第二矩形分别与所述第一矩形的不同边相重合，且相对的两个所述第二矩形的中心与所述第一矩形的中心在同一直线上；

其中，所述对位标记每一边的边长均为所述预设间距的整数倍，且所述预设间距最大值为200微米。

9.根据权利要求8所述的对位标记，其特征在于，所述对位标记上绘制有横坐标轴及纵坐标轴，并且所述横坐标轴及所述纵坐标轴上根据所述预设间距均标注有刻度；

其中，所述横坐标轴及所述纵坐标轴均以所述对位标记的中心为原点，且所述横坐标轴与一组相对的所述第二矩形的中心连线重合，所述纵坐标轴与另一组相对的所述第二矩形的中心连线重合，所述横坐标轴的长度不小于所述对位标记在所述横坐标轴方向上的长度，且所述纵坐标轴的长度不小于所述对位标记在所述纵坐标轴方向上的长度。

10.根据权利要求8所述的对位标记，其特征在于，所述对位标记上标注有所述对位标记顶点对应的刻度；

所述对位标记上大于所述预设间距的边设置有等分点，且所述对位标记上标注有所述等分点对应的刻度，所述等分点之间设置有连线，将所述对位标记分割成若干边长为所述预设间距的正方形；

所述对位标记的刻度包括横向刻度和纵向刻度，其中，以一组相对的所述第二矩形的中心连线方向为横向，另一组相对的所述第二矩形的中心连线方向为纵向。