[发明专利]一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机有效
申请号: | 201710742885.6 | 申请日: | 2017-08-25 |
公开(公告)号: | CN107768480B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 刘品德;朱速锋 | 申请(专利权)人: | 苏州南北深科智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡;吴雯珏 |
地址: | 215200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 加工 太阳能 硅片 烧结 抗光衰 一体机 | ||
本发明涉及一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机,包括烧结炉和抗光衰炉,烧结炉包括烘干段、烧结段以及冷却段,烘干段处设有一燃烧塔,燃烧塔包括一燃烧箱体,其内部空间由隔热墙依次分隔为第一燃烧区、过渡区、第二燃烧区以及冷却区。烧结段包括烧结炉腔,在该烧结炉腔的一端顶部设有第一排废口、另一端顶部设有第二排废口以及中部顶端设有第三排废口;针对第一排废口设有第一有机回收装置,针对第二排废口设有第二有机回收装置,针对第三排废口设有第三有机回收装置。抗光衰炉包括一光源箱箱体,光源箱箱体内设有光源,光源采用LED灯阵列布置,在光源箱箱体内设有冷却装置,冷却装置包括风冷冷却结构和水冷冷却结构。
技术领域
本发明属于太阳能硅片的制备设备,具体涉及一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机。
背景技术
众所周知,在晶体硅太阳能电池硅片的生产中,当硅片印刷之后,需要将带有浆料的硅片通过烧结炉烘干烧结,然后再通过抗光衰炉激活硅片的抗光衰能力。其中,烧结炉通常包括烘干区、烧结区以及冷却区。抗光衰炉通常包括光源箱、传送装置以及加热装置,光源箱体上设置有灯管、冷凝器以及离心风机。
其中,在烧结炉中,由于对带银浆的硅片进行烘干,此时产生的有机废气较多,为了提高排废效率,以往的烧结炉在烘干区设置有机排废风管,将有机废气从有机排废风管中排出。
为了将烘干段的有机废气及时消除,现有市场上出现将烘干段有机废气吸收并燃烧的燃烧塔,但是这种燃烧塔存在以下缺点:1、现有燃烧塔采用直通式,容易导致有机废气在燃烧塔中燃烧不充分,使得排至外界的气体中仍然残留有机废气,甚至存在未经燃烧完全的有毒气体(例如CO)排至燃烧塔外,最终污染环境;2、现有燃烧塔采用直通式,为了尽量燃烧充分,需要将燃烧塔设置较高,但是又因为厂房楼层较低,使得燃烧塔的高度受室内空间高度的限制,直接导致燃烧塔内的燃烧程度受室内空间高度限制。综上,由此看来,现有的燃烧塔具有燃烧不充分、占地空间大、以及燃烧塔燃烧率和燃烧塔空间高度之间存在矛盾的致命缺点,即若要提高燃烧率,就需要加长燃烧塔高度,若要缩短燃烧塔高度,就只能降低燃烧率。
据发明人了解,在烧结过程中,烧结段中大约有90%的有机废气能够从两端的排废口排出,但仍然有剩余的10%无法抵达两端并排出,如果中部产生的有机物废气抵达不了两端,就会产生有机废物覆在烧结炉的炉腔中,炉腔积有机废物必然对烧结的硅片产生污染。
另外,在抗光衰过程中,现有抗光衰炉包括上炉胆、下炉胆、光源箱、传送装置以及加热装置,光源箱体上设置有光源、冷凝器以及离心风机,冷凝器的一端与光源箱体内部相通,另一端与离心风机相通。现有技术光源强度不够,温度缺过高,虽然光源箱体内部设有冷却装置,即采用冷凝器,但是这种冷却方式通常是在铜管中输送冷却水对光源进行冷却,但是由于铜管的铜管壁很薄,且在铜管拐弯处采用焊接连接,因此容易发生泄漏,如果将冷凝器靠近光源设置,容易因泄漏导致元器件漏电,因此只能将冷凝器设置在离光源较远位置,这种冷却方式效果不理想,带走的热量有限,导致光源箱内高温积蓄,造成硅片通过通道处的温度过高,不仅无法达到光源箱内所需的温度条件,而且还对元器件有损坏。
另外,目前市场上还未出现过将烧结炉和抗光衰炉设置成一整机的结构,因为烧结炉和抗光衰炉分开设置,分开加工,从而导致加工工序长,加工设备长度过长、占地面积较大。
因此,提供一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机是本发明所要研究的课题。
发明内容
本发明目的是提供一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机,以解决现有技术中烧结炉中的燃烧塔有机废气燃烧不充分、燃烧塔占地空间大、烧结段排废不及时,导致有机废物堆积污染硅片的问题;以及抗光衰炉中冷却装置冷却效果差等问题。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机,包括传输网链、烧结炉以及抗光衰炉,所述烧结炉和抗光衰炉由传输网链串联连接;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州南北深科智能科技有限公司,未经苏州南北深科智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710742885.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:内开扇(ZST66DN34)
- 下一篇:横竖转换框(ZST50W43B)
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的