[发明专利]一种真空设备的管道结构

说明书

本发明为一种真空设备的管道结构，使用此技术方案有如下进步之处：涡轮分子泵直接装设于真空室的活动顶盖上，避免了涡轮分子泵和活动顶盖之间装设连接管道的问题，提高了抽真空效率，直接抽真空能够提高整体真空设备的可靠性；涡轮分子泵和前级真空设备连接的管道分为前置管道和后置管道，通过法兰上的凸沿相互连通，法兰成对使用，当真空室放气破真空时，前置管道和后置管道随着法兰分开，这样前置管道和后置管道在使用过程中均不会受到任何方向的拉力，因此前置管道和后置管道的使用寿命延长，而且前置管道和后置管道均与法兰一体连接，更增加了前置管道和后置管道间的抽真空状态的可靠性。

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空设备的管道结构。

背景技术

涡轮分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被趋向排气口，再被前级抽走的一种真空泵。涡轮分子泵作为用于形成超高真空状态的真空泵而附设于例如半导体制造为代表的各种加工装置、各种分析装置及电子显微镜等。涡轮分子泵和真空室结合使用，真空室本体上通常无足够空间装设涡轮分子泵，因此涡轮分子泵通常与真空室之间通过管道连接，或者将涡轮分子泵装设于真空室的活动顶盖上。

涡轮分子泵和真空室通过管道连接，会影响涡轮分子泵的抽真空速率，同时增加了连接部件，降低了真空密封的可靠性。涡轮分子泵直接装设于真空室的活动顶盖上，涡轮分子泵由于需要配合前级机械泵一起使用，因此涡轮分子泵和机械泵之间通常使用真空软管连接，但是真空室每次打开都必须放气破真空，而这必然会带来真空软管的扭曲，因此会影响真空软管的密封性。现在需要一种管道结构能够避免这种问题，增加涡轮分子泵使用过程中管道的真空使用可靠性和使用寿命。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的不足，提供一种真空设备的管道结构。

一种真空设备的管道结构，包括真空室，所述真空室底部连接转台转轴和电机减速箱，所述真空室顶部装设有活动顶盖，所述活动顶盖上固定设有涡轮分子泵，所述真空室和所述活动顶盖法兰连接，所述法兰一侧向外延伸形成凸沿，所述凸沿下表面一体成型有前置管道的首端，所述凸沿上表面一体成型有后置管道的末端，所述凸沿中空，所述前置管道的首端和所述后置管道的末端相通，所述前置管道的末端连接前级真空设备，所述后置管道的首端连接所述涡轮分子泵。

在其中一个实施例中，所述前置管道和所述后置管道均为圆形刚性管道。

在其中一个实施例中，所述前置管道和所述后置管道均为不锈钢材质。

在其中一个实施例中，所述前置管道的首端垂直于所述凸沿。

在其中一个实施例中，所述后置管道的首端垂直于所述涡轮分子泵，所述后置管道的末端垂直于所述凸沿。

在其中一个实施例中，所述前置管道与后置管道的横截面之比为4-1.5:1。

在其中一个实施例中，所述后置管道上设置有测试真空度的真空计。

在其中一个实施例中，所述后置管道末端与所述真空计之间设置有安全阀。

综上所述，使用以上技术具有以下进步之处：涡轮分子泵直接装设于真空室的活动顶盖上，避免了涡轮分子泵和活动顶盖之间装设连接管道的问题，提高了抽真空效率，直接抽真空能够提高整体真空设备的可靠性；涡轮分子泵和前级真空设备连接的管道分为前置管道和后置管道，通过法兰上的凸沿相互连通，法兰成对使用，当真空室放气破真空时，前置管道和后置管道随着法兰分开，这样前置管道和后置管道在使用过程中均不会受到任何方向的拉力，因此前置管道和后置管道的使用寿命延长，而且前置管道和后置管道均与法兰一体连接，更增加了前置管道和后置管道间的抽真空状态的可靠性。

附图说明

图1是本发明一实施例的正视结构示意图；

图2是本发明一实施例的俯视结构示意图。