[发明专利]微纳光检测装置及光检测系统

说明书

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体而言，涉及一种微纳光检测装置及光检测系统。

背景技术

传统光谱检测仪设备复杂，大多数时间不需要读出完全光谱，现有技术模块相对较大，达不到微纳尺度的器件尺寸，严重影响了产品的集成化和芯片化。

在很多产品检测中，很多检测并不需要读出完全光谱数据，只需得到特定波长数据。相比于制备匹配液的光谱检测器，匹配液制备复杂，且利用率不高。利用纳米技术制备滤波器，虽然精度高，但是芯片尺度依然达到了几百微米量级。利用传统傅里叶检测方法制作的光谱设备，光路复制，需要大型仪器的支持，难以做到微小化。以上设备很难被用于微流体折射率检测，功能相对比较局限。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的在于提供一种微纳检测器件，以解决现有技术模块较大，达不到微纳尺寸，用处单一的问题。

本发明实施例的另一目的提供了一种光检测系统，以改善上述的问题。

一种微纳光检测装置，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。

优选的，所述第一波导包括第一表面，所述第一表面开设有第一狭缝，所述第一狭缝的深度方向与所述第一表面垂直，所述第一狭缝的深度小于所述第一表面到所述共振腔的外壁的距离。

优选的，所述第二波导包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面开设有第二狭缝，所述第二狭缝的深度方向与所述第二表面垂直，所述第二狭缝的深度小于所述第二表面到所述共振腔的外壁的距离。

优选的，所述第一狭缝和所述第二狭缝相对于所述共振腔对称设置。

优选的，所述共振腔为圆柱状，所述共振腔的高度方向与所述第一盖板和所述第二盖板均垂直。

优选的，所述共振腔内设置有挡板，所述挡板与所述共振腔的内壁连接。

优选的，所述第一盖板和所述第二盖板均开设有通孔，所述第一盖板的通孔用于向所述传导组件内部注入液体或气体，所述第二盖板的通孔用于所述液体或所述气体流出所述传导组件，以检测微纳光检测装置的共振腔内物质折射率的变化。

优选的，所述第一盖板和所述第二盖板均为金属盖板。

优选的，所述第一波导和所述第二波导均为MIM波导。

一种光检测系统，所述光检测系统包括光强检测装置以及微纳光检测装置，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，所述光检测装置用于检测从所述微纳光检测装置的传导组件传导射出的光的强度。

相对现有技术，本发明具有以下有益效果：

本发明提供的一种微纳光检测装置及光检测系统，微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，本实施例提供的微纳光检测装置，通过将光耦合到共振腔中产生法诺共振或洛伦兹共振，在特定波段的待检测光在第一波导一端通过共振腔耦合至第二波导的一端进行传播，可以用来检测是否有特定波长的光通过所述微纳光检测装置，以检测特定波长的透射情况。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明