[发明专利]一种直排推进式高效硅片切割装置

权利要求书

1.一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，包括导轮(1)，所述导轮(1)上缠有金刚线(2)，所述金刚线(2)上放有硅碇(3)，所述硅碇(3)后设有推进杆(6)，所述推进杆(6)连有电动机(7)，所述推进杆(6)中间设有红外感应器(5)，所述导轮(1)上方两端设有冷却液喷嘴(4)。

2.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的导轮(1)的材料为铝合金。

3.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的金刚线(2)为树脂金钢线或电镀金钢线。

4.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的推进杆(6)的伸缩长度是可以调节的。

5.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的硅碇(3)为直排方式单根排布在金钢线(2)上方。

6.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的电动机(7)提供推进杆(6)推动硅碇(3)前进的动力。

7.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的红外感应器(5)检测推进杆(6)前进的距离。

8.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的冷却液喷嘴(4)连续向硅碇切割部位喷洒，降低切割部位的温度与润滑。

9.根据权利要求1所述的一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，所述的冷却液喷嘴(4)与导轮(1)的角度可调范围为0-90度。