[发明专利]用于生产具有至少一个过孔的金属陶瓷衬底的方法在审
申请号: | 201710755799.9 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN107799423A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | A·罗特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 周家新,蔡洪贵 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 生产 具有 至少 一个 金属陶瓷 衬底 方法 | ||
1.一种用于生产具有至少一个导电过孔(2,11)的金属陶瓷衬底(1,10)的方法,其中,在陶瓷层(3)的两个相反的表面侧中的每一个上分别有一个金属层(4,8)以平面方式附连到陶瓷板或陶瓷层(3),
其特征在于
在附连两个金属层(4,8)之前,或在附连两个金属层中的一个(4)之后但在附连两个金属层中的另一个(8)之前,将含金属的粉末状和/或液体物质(6,13)引入到陶瓷层(3)中的限定过孔(2,11)的孔眼(5,12)中,然后使组合体经受500℃以上的高温步骤,其中,含金属的物质(6,13)至少部分地以小于90°的润湿角润湿陶瓷层(3)。
2.根据权利要求1所述的方法,
其特征在于
在将含金属的物质(6,13)引入到限定过孔(5,12)的所述孔眼中之前,将两个金属层中的一个(4)附连到陶瓷层(3)的两个表面侧中的一个上。
3.根据权利要求1或2所述的方法,
其特征在于
含金属的物质(6)是由铜和另外来自由氧化亚铜(I)、氧化铜(II)和氢氧化铜(II)组成的组中的至少一种元素构成的粉末混合物,其中,粉末混合物中的铜含量为0%至约95%,来自上述组中的所述至少一种元素形成余量至100%。
4.根据前述权利要求3所述的方法,
其特征在于
粉末混合物(6)的晶粒尺寸至多为限定过孔(2)的所述孔眼(5)的直径的90%。
5.根据权利要求3或4所述的方法,
其特征在于
粉末混合物(6)在引入到限定过孔(2)的所述孔眼(5)中之前与载体材料混合,以形成粘性膏剂。
6.根据权利要求5所述的方法,
其特征在于
液体、特别是水或酒精用作载体材料,所述液体在最高达大约400℃的温度下以无残留的方式蒸发。
7.根据权利要求6所述的方法,
其特征在于
在引入膏剂之后并且在执行高温步骤之前,载体液体在附加的温度步骤中在最高达400℃下蒸发。
8.根据权利要求1所述的方法,
其特征在于
通过向陶瓷层(3)喷洒液体(13)或将陶瓷层(3)浸没在液体(13)中,液体作为含金属的物质(13)被引入到限定过孔(11)的所述孔眼(12)中,其中,在高温步骤之前,在约100℃至约200℃的温度范围内执行用于将液体(13)转化为铜氧化物的后续的附加热转化步骤。
9.根据权利要求8所述的方法,
其特征在于
使用氢氧化铜(II)盐水或乙酸铜(II)盐水作为含金属的液体(13)。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其特征在于
两个金属层(4,8)借助于DCB方法附连到陶瓷层(3)上。
11.根据权利要求1所述的方法,
其特征在于
两个金属层(4,8)借助于AMB方法附连到陶瓷层(3)上,并且所述含金属的物质是AMB焊料。
12.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其特征在于
与利用含金属的物质(6,13)润湿陶瓷层(3)的高温步骤同时地将两个金属层中的一个(4)附连到陶瓷层(3)上。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其特征在于
在将两个金属层(4,8)附连到陶瓷层(3)之后,使金属陶瓷衬底(1,10)经受热等静压。
14.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其特征在于
在将两个金属层(4,8)附连到陶瓷层(3)之后,金属陶瓷衬底(1,10)在其外部金属表面上被磨削。
15.根据前述权利要求中任一项所述的方法,
其特征在于
氧化铝作为陶瓷填料混合到含金属的物质(6,13)中。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造