[发明专利]无堆场透镜组件及制造方法

权利要求书

1.一种用于制造无堆场透镜的晶圆级方法，包括：

将光可固化透镜树脂沉积在模具和透明基板的第一侧之间，透明基板的第一侧具有不透明涂层，不透明涂层的多个孔分别与模具的多个透镜形状凹部对准；以及

使背对透明基板的第一侧的第二侧曝光，从而照射与所述多个孔对准的光可固化透镜树脂的部分，以形成相应的多个无堆场透镜。

2.如权利要求1所述的晶圆级方法，还包括：

在所述曝光步骤之后，从透明基板去除光可固化透镜树脂的未固化部分。

3.如权利要求1所述的晶圆级方法，所述曝光步骤包括：

通过透明基板并通过孔照射光可固化透镜树脂的部分；以及

使用不透明涂层在朝不透明涂层的方向上阻挡通过透明基板传播的光。

4.如权利要求1所述的晶圆级方法，所述沉积步骤包括：

在模具的溢流凹部中容纳过量的光可固化透镜树脂，所述溢流凹部位于透镜形状凹部之间并与透镜形状凹部分离开。

5.如权利要求4所述的晶圆级方法，

在所述沉积步骤中，溢流凹部位于孔之间；以及

所述曝光步骤包括使用不透明涂层在朝溢流凹部的方向上阻挡通过透明基板传播的光的部分，使得位于溢流凹部中的光可固化透镜树脂的部分不被固化。

6.如权利要求1所述的晶圆级方法，

在所述沉积步骤中，凹部中的每一个具有小于对应的一个孔的横向范围的横向范围；以及

所述曝光步骤包括形成无堆场透镜，使得无堆场透镜中的每一个的光学透镜表面与不透明涂层分开。

7.如权利要求6所述的晶圆级方法，

所述沉积步骤包括用光可固化透镜树脂至少在包括所有孔的简单连接的区域内基本上覆盖基板的第一侧和模具之间的界面；以及

所述形成步骤还包括形成无堆场透镜，使得每个无堆场透镜包括(a)最靠近基板的第一侧并且基本上跨越相关联的一个孔的基座和(b)在基座上，以光学透镜表面为特征的无堆场透镜元件。

8.如权利要求7所述的晶圆级方法，所述形成步骤包括形成具有小于10微米的厚度的基座。

9.如权利要求6所述的晶圆级方法，在所述形成步骤中并且对于无堆场透镜中的每一个，光学透镜表面和不透明涂层之间的最短距离在50微米和250微米的范围内。

10.如权利要求1所述的晶圆级方法，

在所述沉积步骤中，模具是不透明的；以及

所述曝光步骤包括在模具中吸收由透明基板、孔和光可固化透镜树脂透射的光的一部分，以至少减少透明基板的第一侧和模具之间但不与孔对准的光可固化透镜树脂位置的部分的散射光曝光。

11.如权利要求1所述的晶圆级方法，所述曝光步骤包括形成具有各自的矩形横截面的光学透镜表面的无堆场透镜。

12.如权利要求11所述的晶圆级方法，在所述沉积步骤中，所述孔中的每一个具有矩形横截面。

13.如权利要求1所述的晶圆级方法，所述曝光步骤包括形成具有各自的圆形横截面的光学透镜表面的无堆场透镜。

14.如权利要求13所述的晶圆级方法，在所述沉积步骤中，所述孔中的每一个具有圆形横截面。

15.一种无堆场透镜组件，包括：

透明基板；

沉积在透明基板上的不透明涂层，不透明涂层在透明基板上形成孔；以及

在透明基板上在孔中的无堆场透镜。