[发明专利]磁轴承控制装置及真空泵

权利要求书

1.一种磁轴承控制装置，通过传感器而检测由激磁放大器向使转子磁悬浮的磁轴承供给的激磁电流，并根据基于转子悬浮位置相对于悬浮目标位置的偏差的电流设定信号与所述传感器的激磁电流检测信号，而生成用以对所述激磁放大器进行脉宽调制控制的电压相当信号，所述磁轴承控制装置的特征在于：

基于作为所述电流设定信号与激磁电流检测信号的差的电流偏差信号及所述电流设定信号而生成所述电压相当信号。

2.根据权利要求1所述的磁轴承控制装置，其特征在于：

所述电压相当信号是将第1电压相当信号与第2电压相当信号相加混合而得的信号，

所述第1电压相当信号是使固定的第1增益值与所述电流偏差信号相乘而得的信号通过电流控制器而生成，所述电流控制器包含输出时间积分值的积分器与输出比例倍值的比例增益器，

所述第2电压相当信号是使所述电流设定信号通过传递函数部而生成，所述传递函数部是以抵消包含所述磁轴承的电磁铁的电常数的传递函数的方式设定。

3.根据权利要求1所述的磁轴承控制装置，其特征在于：

将使固定的第1增益值和所述电流偏差信号相乘而得的信号通过输出时间积分值的积分器而生成的信号与所述电流设定信号相加混合，

使相加混合而得的信号通过传递函数部而生成所述电压相当信号，所述传递函数部是以抵消包含所述磁轴承的电磁铁的电常数的传递函数的方式设定。

4.根据权利要求2或3所述的磁轴承控制装置，其特征在于：

代替所述电流设定信号而使用0.5至1的固定的第2增益值与所述电流设定信号相乘而得者。

5.根据权利要求2或3所述的磁轴承控制装置，其特征在于：

所述电流偏差信号是以规定的第3增益值和所述电流设定信号相乘而得的信号与所述第3增益值和所述激磁电流检测信号相乘而得的信号的差的形式而算出，

所述第1增益值设定为所述第3增益值的10倍以上、1000倍以下。

6.根据权利要求2或3所述的磁轴承控制装置，其特征在于：

所述传递函数部的传递函数包含基于所述电磁铁的电常数而设定的电感相当值及电阻相当值，

所述电感相当值设定为所述电磁铁的电感的0.1倍以上、10倍以下，

所述电阻相当值设定为所述电磁铁的电阻的0.1倍以上、10倍以下，

所述电感相当值与所述电阻相当值的比设定为所述电感与所述电阻的比的0.1倍以上、10倍以下。

7.一种真空泵，其特征在于包括：

磁轴承，磁悬浮支撑泵转子；

马达，旋转驱动所述泵转子；及

根据权利要求1至6中任一项所述的磁轴承控制装置，控制所述磁轴承。