[发明专利]一种基板承载装置及蒸镀设备

说明书

本发明公开了一种基板承载装置及蒸镀设备，涉及显示装置制造技术领域，为解决现有的基板承载装置更换粘性件用时较长的问题而发明。该基板承载装置，包括基底和承载条，所述承载条与所述基底可拆卸连接，所述承载条的承载面上设有粘性件，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，与所述基底连接的所有所述承载条的承载面形成平坦表面。本发明可用于OLED等基板的承载和传送。

技术领域

本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种基板承载装置及蒸镀设备。

背景技术

在显示装置的制造过程中，一般都需要基板承载装置来传送基板，比如在OLED(Organic Light-Emitting Diode有机发光二极管)显示装置的整个蒸镀过程中，基板是以基板承载装置为载体在蒸镀设备中进行传送的，而基板承载装置的结构设计的是否合理，直接关系着整个蒸镀过程的生产效率和蒸镀设备的稼动率(一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值)。

现有的一种基板承载装置，如图1所示，包括基底01(base)，基底01的上表面上设有多个粘性件02，粘性件02一面粘贴在基底01上，另一面可通过分子间作用力与基板紧密贴合。其中，粘性件01为粘性垫，粘性垫的一面与基底01相粘接，另一面与基板(图中未示出)相贴合，通过粘性垫与基板贴合时的分子间作用力，从而使两者紧紧贴在一起，保证基板与基底01不分离。

然而，基板承载装置上的粘性件02是具有寿命的，需要定期来更换，否者会影响对基板的贴合性能，尤其是当粘性件02所粘接的基板因某种原因发生破片时，基板产生的玻璃屑会落在粘性件02与基板的贴合面上，此时便需要更换粘性件02。现有的这种基板承载装置在更换粘性件02时，需要将基底01从蒸镀设备中取出，接着将粘性件02从基底01的上表面逐个撕下，擦拭干净原粘接位置的残胶，再贴附上新的粘性件02，整个更换过程时间较长，从而不利于提高生产效率和设备的稼动率。

发明内容

本发明的实施例提供一种基板承载装置及蒸镀设备，用以解决现有的基板承载装置更换粘性件用时较长的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例提供了一种基板承载装置，包括基底和承载条，所述承载条与所述基底可拆卸连接，所述承载条的承载面上设有粘性件，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，与所述基底连接的所有所述承载条的承载面形成平坦表面。

进一步地，所述承载条的数目为多个，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，多个所述承载条的承载面相平齐。

更进一步地，所述承载条包括第一承载条和第二承载条，所述第一承载条的数目为多个，多个所述第一承载条围成一承载区域，所述第二承载条设置于所述承载区域内。

进一步地，所述承载条通过螺纹紧固件与所述基底可拆卸连接。

进一步地，所述承载条上设有限位凸缘，所述基底上开设有限位槽，所述限位凸缘与限位槽相卡接。

进一步地，所述基底为具有镂空开口的矩形框架结构。

进一步地，还包括固定件，所述固定件与所述基底可拆卸连接，在所述固定件与所述基底处于连接状态下，所述固定件位于所述平坦表面远离所述粘结件的一侧，所述固定件的第一表面上固定设有磁性吸附件，所述第一表面与所述平坦表面平行。

更进一步地，所述固定件包括底架和固定条，所述底架与所述基底可拆卸连接，所述固定条与所述底架可拆卸连接，所述磁性吸附件固定于所述固定条上。

更进一步地，所述底架通过插销结构与所述基底可拆卸连接，所述插销结构包括开设在所述底架上的第一销孔、开设在所述基底上的第二销孔和销杆，所述第一销孔和所述第二销孔同轴，所述销杆插入所述第一销孔和所述第二销孔中，且与所述第一销孔、所述第二销孔过盈配合。