[发明专利]蒸镀掩膜板及蒸镀装置、蒸镀工艺及测试膜层厚度的方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板应用于依次沉积M种蒸镀材料，每种所述蒸镀材料放置在不同的蒸镀源中，每种所述蒸镀材料的蒸镀温度的区间无交集，M为大于1的正整数；所述蒸镀掩膜板包括掩膜板本体；其特征在于，所述蒸镀掩膜板还包括：

设置在所述掩膜板本体朝向所述蒸镀源的第一表面上的M组温度监控装置；每组所述温度监控装置至少包括一个所述温度监控装置；

设置在所述第一表面上呈凹陷的与每个所述温度监控装置一一对应的膜层监控区域；

设置在每个所述膜层监控区域上的控制窗口；

设置在每个所述膜层监控区域内的检测电极对，用于获取沉积到所述膜层监控区域内的膜层在测试电压下的测试电流值；

每组所述温度监控装置用于当设定的一预设温度的区间包含所述温度监控装置获取到的所述蒸镀温度时，控制对应的所述膜层监控区域上的所述控制窗口打开，以使具有所述蒸镀温度的所述蒸镀源蒸发出的所述蒸镀材料沉积在露出的所述膜层监控区域内；其中，

M组所述温度监控装置与M种所述蒸镀材料一一对应，且每组所述温度监控装置的所述预设温度的区间仅包含对应的一种所述蒸镀材料的所述蒸镀温度；

或者，M组所述温度监控装置包括：第一类型的M₁组所述温度监控装置和第二类型的(M-M₁)组所述温度监控装置，1≤M₁<M；所述M₁组中的任意一组所述温度监控装置的所述预设温度的区间包含N种所述蒸镀材料的所述蒸镀温度，2≤N≤M，则其中(N-1)种所述蒸镀材料在所述第二类型的(M-M₁)组所述温度监控装置中均有一一对应的一组所述温度监控装置，且每组所述温度监控装置的所述预设温度的区间仅包含对应的一种所述蒸镀材料的所述蒸镀温度。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，每个所述温度监控装置包括：温度感应单元和处理单元；

所述温度感应单元用于获取所述掩膜板本体下方的所述蒸镀温度，并向所述处理单元发送包含获取到的所述蒸镀温度的感应信息；

所述处理单元用于对接收到的所述感应信息进行处理，并向与所述温度监控装置对应的所述控制窗口发出反馈信息；

所述控制窗口根据接收到的所述反馈信息作出打开或关闭的反应；

其中，当所述处理单元判断所述预设温度的区间包含所述蒸镀温度时，所述反馈信息包括开启信息；当所述处理单元判断所述预设温度的区间不包含所述蒸镀温度时，所述反馈信息包括关闭信息。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，在多种所述蒸镀材料均为有机材料的情况下，所述检测电极对包括：相对设置的两个交叉指型电极，且所述两个交叉指型电极的交叉部分具有间隙。

4.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，在多种所述蒸镀材料均为金属材料的情况下，所述检测电极对包括：相对设置的两个条形电极，且所述两个条形电极分别位于所述膜层监控区域的相对的两个边缘处。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述掩膜板本体包括：开口部分和架设在所述开口部分内的支撑条。

6.一种蒸镀装置，包括放置在不同蒸镀区域内的M个蒸镀源；每个所述蒸镀源放置不同的蒸镀材料，每种所述蒸镀材料的蒸镀温度的区域无交集，M为大于1的正整数；其特征在于，所述蒸镀装置还包括：设置在所述蒸镀源蒸发方向上方的如权利要求1至5任一项所述的蒸镀掩膜板。