[发明专利]镀覆装置

权利要求书

1.一种镀覆装置，其特征在于，包括：

处理部，对基板进行镀覆；

保管容器，对用于保持所述基板的基板保持架进行保管；

搬运机，在所述处理部与所述保管容器之间搬运所述基板保持架；

维护区域，与所述保管容器邻接；以及

基板保持架载体，支承于所述保管容器，

所述基板保持架载体构成为：在所述搬运机的运转中，能够以支承有需要维护的所述基板保持架的状态而在所述保管容器与维护区域之间移动。

2.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

还包括隔壁，所述隔壁配置于所述维护区域与所述保管容器之间，

所述隔壁位于比保管容器高的位置。

3.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述基板保持架载体包括：

台座，供所述基板保持架载置；以及

转动体，安装于所述台座，

所述转动体与所述保管容器接触。

4.如权利要求3所述的镀覆装置，其特征在于，

还包括维护构造体，所述维护构造体配置于所述维护区域内，且能够接收所述基板保持架以及所述基板保持架载体，

所述保管容器包括支承所述转动体的第一导轨，

所述维护构造体包括支承所述转动体的第二导轨，

所述第二导轨构成为能够与所述第一导轨排列成直线状。

5.如权利要求4所述的镀覆装置，其特征在于，

在所述保管容器上排列有多个基板保持架载体，

所述维护区域与所述多个基板保持架载体的排列方向平行地延伸。

6.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述保管容器具有面向所述维护区域的门，

在所述门安装有锁紧机构。

7.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

在所述保管容器设有检测传感器，所述检测传感器检测所述基板保持架载体是否存在于所述保管容器上的规定位置。

8.如权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述保管容器包括收容所述基板保持架的箱体，

所述箱体的底面具有倾斜形状。

9.一种镀覆装置，其特征在于，包括：

处理部，对基板进行镀覆；

保管容器，对用于保持所述基板的基板保持架进行保管；

搬运机，在所述处理部与所述保管容器之间搬运所述基板保持架；

维护区域，与所述保管容器邻接；

基板保持架载体，支承于所述保管容器；以及

维护构造体，配置于所述维护区域内，且能够接收所述基板保持架以及所述基板保持架载体，

所述基板保持架载体构成为：能够以支承有所述基板保持架的状态而在所述保管容器与维护区域之间移动，

所述基板保持架载体包括：

台座，供所述基板保持架载置；以及

转动体，安装于所述台座，

所述转动体与所述保管容器接触，

所述保管容器包括支承所述转动体的第一导轨，

所述维护构造体包括支承所述转动体的第二导轨，

所述第二导轨构成为能够与所述第一导轨排列成直线状，

所述维护构造体包括：

作业台，固定于所述第二导轨，并从所述第二导轨向下方延伸；以及

支承部件，将所述作业台支承为能够旋转。