[发明专利]一种柔性衬底、柔性OLED器件及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性衬底，其特征在于，所述柔性衬底包括：

聚酰亚胺层和金属氧化物绝缘层；

所述金属氧化物绝缘层覆盖在所述聚酰亚胺层上，用于阻隔所述聚酰亚胺层在退火时产生的气体和/或水透过，

其中，所述金属氧化物绝缘层的材料包括氧化铜。

2.根据权利要求1所述的柔性衬底，其特征在于，

所述金属氧化物绝缘层的厚度为50-100nm。

3.根据权利要求1所述的柔性衬底，其特征在于，

所述金属氧化物绝缘层采用物理气相沉积技术形成。

4.一种柔性OLED器件，包括柔性衬底和设置在所述柔性衬底上的阵列基板，其特征在于，所述柔性衬底包括：

聚酰亚胺层；

金属氧化物绝缘层，覆盖在所述聚酰亚胺层上，用于阻隔所述聚酰亚胺层在退火时产生的气体和/或水透过，

其中，所述金属氧化物绝缘层的材料包括氧化铜。

5.根据权利要求4所述的柔性OLED器件，其特征在于，

所述金属氧化物绝缘层的厚度为50-100nm。

6.根据权利要求4所述的柔性OLED器件，其特征在于，

所述金属氧化物绝缘层采用物理气相沉积技术形成。

7.根据权利要求4所述的柔性OLED器件，其特征在于，所述阵列基板包括：

薄膜晶体管背板层，设置在所述金属氧化物绝缘层上；

第一电极层，设置在所述薄膜晶体管背板层上；

像素界定层，设置在所述薄膜晶体管背板层上，且所述像素界定层对应所述第一电极层的位置形成有开口，所述第一电极层从所述开口内露出；

发光层，设置在所述像素界定层的所述开口区域内；

第二电极层，设置在所述发光层上。

8.一种柔性OLED器件的制备方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板上形成聚酰亚胺层；

在所述聚酰亚胺层上覆盖金属氧化物绝缘层；

在所述金属氧化物绝缘层上形成薄膜晶体管背板层；

在所述薄膜晶体管背板层上形成第一电极层；

在所述薄膜晶体管背板层上形成像素界定层，并在所述像素界定层对应所述第一电极层的位置形成开口，所述第一电极层从所述开口内露出；

在所述像素界定层的所述开口区域内形成发光层；

在所述发光层上形成第二电极层；

将所述基板与所述聚酰亚胺层剥离，进而得到所述柔性OLED器件，

其中，所述金属氧化物绝缘层的材料包括氧化铜。