[发明专利]一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器

说明书

本发明属于医疗器械设备技术领域，具体是一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器。解决了可以利用植入式微型供药腔实时地对眼部进行供药，以维持房水动力学平衡，达到治疗青光眼的的问题，包括的PDMS薄膜层，PDMS薄膜层上利用磁控溅射技术溅射金靶材形成金属感应线圈，其中一侧的感应线圈上设有一层parylene保护层，另一侧的感应线圈上方设有电解腔，电解腔外侧设有PDMS空腔。PDMS薄膜层厚20um。本发明创新性的将眼压监测与供药集成为一体化结构，利于实现眼压监测与实时供药的功能。

技术领域

本发明属于医疗器械设备技术领域，具体是一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器。

背景技术

目前，青光眼被世界卫生组织认为是第二位致盲性不可逆转的眼部疾病。青光眼的发病机制研究表明：房水动力学的异常是导致青光眼眼内压升高的主要原因。通过分析正常人和青光眼患者的眼压波动曲线，证实了52%~69%的青光眼患者眼压峰值不是出现在白天，而是出现在夜间，甚至90%的健康人的眼压峰值也出现在夜间，而大部分眼病患者去就医的时间是在白天，所以白天的单次和多次测量不能准确的评估青光眼的病情，从而影响到青光眼的及时发现和诊断。因此，需要设计一个可实时的连续性监测眼内压波动的眼压测试设备。另外，现有的青光眼治疗方法有外部用药、激光、手术治疗等，其中外部用药方法没有较强的针对性，不适合应用于长期的治疗；而激光与手术法存在一定的风险，物理损伤不可逆，容易造成眼部交叉感染，导致视神经的损坏与并发症的发生。研究表明，降低眼内压比较安全有效的方法是利用植入式微型供药腔实时地对眼部进行供药，以维持房水动力学平衡，达到治疗青光眼的目的。为了能及时的获取眼病患者夜间眼压的波动状况，并控制青光眼患者病情的进展，使青光眼患者得到及时确诊并给予对应的治疗，因此，设计一个集成式眼压监测及供药的智能系统显得尤为重要。

发明内容

本发明为了解决可以利用植入式微型供药腔实时地对眼部进行供药，以维持房水动力学平衡，达到治疗青光眼的的问题，提供一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器。

本发明采取以下技术方案：一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器，包括的PDMS薄膜层，PDMS薄膜层上利用磁控溅射技术溅射金靶材形成金属感应线圈，其中一侧的感应线圈上设有一层parylene保护层，另一侧的感应线圈上方设有电解腔，电解腔外侧设有PDMS空腔。PDMS薄膜层厚20μm。

一种基于LC原理的柔性植入式眼压监测与实时供药的无线无源传感器的制备方法，具体步骤如下：

1)匀胶与光刻：将PDMS预聚物与固化剂以10:1的比例混合均匀，以硅片为衬底材料，以500rmp/min的转速旋涂40s制备厚度为100μm的PDMS薄膜，然后在120℃环境加热1h固化，将AZ4620光刻胶低速500rmp/min旋涂15s，高速3000rmp/min旋涂15s，形成厚度为8μm的光刻胶，然后对其进行光刻。

2)溅射金属：利用O₂等离子处理，对光刻后的区域的PDMS进行表面改性处理，利用磁控溅射仪溅射金属，形成带有叉指电极的LC回路。

3)剥离：将溅射完成的回路置于丙酮中2h进行剥离。

4)气相沉积parylene：利用气相沉积法将parylene沉积在LC回路表面作为保护层。

5)等离子刻蚀叉指电极区：利用等离子刻蚀技术将叉指电极区域表面的parylene刻蚀，形成裸露的电极区。

6)增加粘附层。在未刻蚀parylene表面增加一层粘附层。

7)利用PDMS薄片制作模具：将4层厚度为400μm厚度的PDMS薄膜叠放在一起并抽真空20min形成模具,然后在模具边缘浇注PDMS并将其固化，完成模具的制备。