[发明专利]图案形成片、图案制造装置、图案制造方法及图案制造程序在审
申请号: | 201710770510.0 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN107870506A | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 大嶋英司 | 申请(专利权)人: | 康达智株式会社 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G03F7/00;G03F7/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 杜诚,李德山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图案 形成 制造 装置 方法 程序 | ||
技术领域
本发明涉及图案形成片、图案制造装置、图案制造方法以及图案制造程序。
背景技术
在上述技术领域中,专利文献1公开了一种用光照射形成有电路图案的光掩模并使电路图案显露在板上的技术。
[专利文献1]日本专利特开No.2002-194253
发明内容
在上述文献中描述的技术中,可以在印刷电路板上形成图案。然而,需要准确的设备、装置和技术来对准掩模和板。因此,终端用户不能有效地使用该技术。
本发明能够提供一种解决上述问题的技术。使用光束来形成图案的潜像,并且用光束照射粘附有图案形成片的工件,从而形成图案的潜像。这使得能够消除高成本精确定位的必要性的图案形成和图案制造。
本发明的一个方面提供了一种用于形成图案的图案形成片,其适合于任意工件表面,该图案形成片包括:
透光片材料层;以及
膏状光固化层,其涂敷到片材料层并且包含光固化树脂。
本发明的另一方面提供了一种图案制造装置,其包括:
形成单元,其被配置成通过用光束照射上述图案形成片来形成图案。
本发明的又一方面提供了一种图案制造方法,其包括:
将上述图案形成片粘附到具有任意形状的工件;
通过用光束照射图案形成片来形成图案;以及
将片材料层与所形成的图案分离。
本发明的再一方面提供了一种用于使计算机执行方法的图案制造程序,所述方法包括:
通过用光束照射上述图案形成片来形成图案。
根据本发明,可以在具有任意形状的工件上使图案成型。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的整体配置的概要的示意图;
图2A是示出通过根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置进行的图案形成过程的概要的图;
图2B示出用于说明根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的配置的平面图和侧面图;
图2C是用于说明根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片以及光束照射后图案形成片的粘附的图;
图2D是用于说明涂敷根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的光固化层的方法的示例的图;
图3是用于说明根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的装置配置的示例的图;
图4A是用于说明在根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的示例的图;
图4B是用于说明在根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的另一示例的平面图;
图4C是用于说明在根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的另一示例的透视图;
图5是示出包括根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学引擎的激光投影仪的配置的图;
图6是示出包括根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学引擎的激光投影仪的功能配置的框图;
图7是用于说明通过根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置进行的图案制造程序的流程图;
图8是用于说明根据本发明的第二示例性实施方式的图案制造装置的配置的示例的图;以及
图9是用于说明通过根据本发明的第二示例性实施方式的图案制造装置进行的图案制造程序的流程图。
具体实施方式
现在将参照附图详细描述本发明的示例性实施方式。应当注意,除非另有具体说明,否则在这些示例性实施方式中阐述的部件的相对布置、数值表达式和数值不限制本发明的范围。
[第一示例性实施方式]
将参照图1至图7描述根据本发明的第一示例性实施方式的图案制造装置100。图案制造装置100是通过用光束照射图案形成片而在任意工件表面上制造图案的装置。
<技术前提>
将首先描述该示例性实施方式的技术前提。注意,电路图案将被例示为图案。然而,该示例性实施方式的技术不限于此。
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
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G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备