[发明专利]薄膜晶体管器件及其制作方法

说明书

本发明实施例提供了一种薄膜晶体管器件及其制作方法，该薄膜晶体管器件的栅电极包括：设置在薄膜晶体管器件的沟道层上方的顶栅；以及设置在沟道层下方的底栅；其中，顶栅上设置有至少一个通孔，顶栅上的通孔在与沟道层平行的平面上的投影被底栅在平面上的投影所覆盖；和/或，底栅上设置有至少一个通孔，底栅上的通孔在平面上的投影被顶栅在平面上的投影所覆盖。本发明实施例提供的薄膜晶体管器件解决了现有薄膜晶体管器件折弯变形时，由于应力集中导致的显示失效的问题。

技术领域

本发明涉及显示基板技术领域，特别涉及一种薄膜晶体管器件及其制作方法。

背景技术

柔性显示装置是可弯曲变形的显示装置，其显示方式包括薄膜晶体管发光(TFT)、有机电致发光(OLED)、电泳显示(EPD)、液晶显示装置(LCD)等多种类型。可变形可弯曲的显示基板能够给用户带来颠覆性的使用体验。

柔性显示装置在弯曲或者折叠过程中，脆性的薄膜晶体管器件的内部结构极易发生断裂，薄膜晶体管器件的内部结构断裂会影响显示效果或直接导致无法正常工作。

针对薄膜晶体管器件弯折或断裂的失效，目前有提到在栅极上开孔来释放应力，但是栅极开孔不利于把控薄膜晶体管器件的性能参数，以致无法保证产品的性能。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种薄膜晶体管器件及其制作方法，解决了现有薄膜晶体管器件折弯变形时，由于应力集中导致的显示失效的问题。

本发明实施例提供了一种薄膜晶体管，包括：

所述薄膜晶体管器件的栅电极包括：

设置在所述薄膜晶体管器件的沟道层上方的顶栅；以及

设置在所述沟道层下方的底栅；

其中，所述顶栅上设置有至少一个通孔，所述顶栅上的所述通孔在与所述沟道层平行的平面上的投影被所述底栅在所述平面上的投影所覆盖；和/或，所述底栅上设置有至少一个通孔，所述底栅上的所述通孔在所述平面上的投影被所述顶栅在所述平面上的投影所覆盖。

其中，所述栅电极进一步包括：

设置在所述沟道层和所述顶栅之间的顶栅绝缘层和设置在所述沟道层和所述底栅之间的底栅绝缘层。

其中，所述底栅绝缘层包括镂空区域或至少一个开孔，所述底栅绝缘层的所述镂空区域或至少一个开孔中填充有机材料；和/或，

所述顶栅绝缘层包括与镂空区域或至少一个开孔，所述顶栅绝缘层的所述镂空区域或至少一个开孔中填充有机材料。

其中，所述顶栅上的所述通孔在所述平面上的投影形状和所述底栅在所述平面上的投影的形状相同；和/或，所述底栅上的所述通孔在所述平面上的投影的形状和所述顶栅在所述平面上的投影的形状相同。

其中，所述至少一个通孔的所有侧边中最长的一条侧边或者所述至少一个通孔的所有连接侧边两点的侧边连线中最长的一条侧边连线与所述薄膜晶体管器件的预设弯折轴重合。

其中，进一步包括：

形成于所述栅电极上的绝缘介质层，所述绝缘介质层可包括贯穿至所述沟道层的两个开孔；

源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极分别形成于所述两个开孔中，并与所述沟道层形成欧姆接触；

平坦层，所述平坦层制备在所述绝缘介质层上，覆盖所述源电极和所述漏电极；

形成在所述平坦层上的像素定义层，所述像素定义层上定义有阳极区域；

与所述阳极区域电性连接的阳极，所述阳极穿过所述平坦层与所述漏电极形成欧姆连接。