[发明专利]石英晶体谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种石英晶体谐振器，包括基座、上盖以及音叉，所述音叉具有相对的第一端和第二端，所述第一端为调频端，所述第二端为引出端，所述上盖盖合所述基座上，其特征在于，所述上盖设有第一腔室，在上盖上还设有能将第一腔室半封闭的盖板,在上盖上开设有第一开口，所述的第一开口与第一腔室连通设置,所述盖板具有相对的两端，所述盖板的其中一端的形状、大小与所述第一腔室的形状、大小相匹配，而所述盖板的另一端延伸至第一开口的外侧并与盖板形成L形，所述基座设有第二腔室，所述基座设有与所述第二腔室连通的第二开口，且第二开口与设置在上盖上的第一开口相匹配设置,所述音叉的第二端设于所述第二腔室内，所述音叉的第一端从所述第二开口穿出并收容在所述第一腔室内。

2.根据权利要求1所述的石英晶体谐振器，其特征在于，所述第二腔室远离第二开口的一端底部设有导电层，所述导电层与第二腔室的底面形成台阶，所述音叉的第二端设置在台阶上，并通过导电胶粘结。

3.根据权利要求2所述的石英晶体谐振器，其特征在于，所述导电层与所述第二腔室之间设有内引线端头，在基座的外表面设有与所述内引线端头对应设置的外引线端头，所述基座的外表面设有侧电极，所述侧电极将所述内引线端头与所述外引线端头连接。

4.一种制造如权利要求1至3任一项石英晶体谐振器的制备方法，包括：

用电子陶瓷材料制作基座，所述基座上设有第二腔室，以及与所述第二腔室连通设置的第二开口；

用电子陶瓷材料制作上盖，所述上盖上设有第一腔室，以及与所述第一腔室连通设置的第一开口，所述音叉的第一端收容在所述第一腔室内；

将所述音叉的第二端通过导电胶安装在所述第二腔室内,所述音叉的第一端穿出所述第二开口；

调节所述音叉的第一端，使音叉的振荡频率达到所要求的频率；

将所述上盖盖合所述基座进行组装，所述音叉的第一端收容在所述第一腔室内；

将组装好的石英晶体谐振器，真空处理，加压并固化。

5.根据权利要求4所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述调节所述音叉的第一端，包括：砂轮粗打磨音叉的第一端和/或激光细打磨音叉的第一端。

6.根据权利要求4所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述用电子陶瓷材料制作上盖，包括：在第一腔室的第一开口处涂覆密封胶，并预固化。

7.根据权利要求4所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述用电子陶瓷材料制作基座,包括：在第二腔室远离第二开口的一端底部设有内引线端头，在内引线端头上覆盖一侧导电层，所述导电层与所述第二腔室的底部形成台阶，所述音叉的第二端通过导电胶固定在台阶上。

8.根据权利要求7所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述用电子陶瓷材料制作基座，进一步包括：在基座的外表面设置与所述内引线端头对应设置的外引线端头；同时，在基座的外表面设置外端头。

9.根据权利要求4所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述固化的温度为：175-220℃。

10.根据权利要求6所述的石英晶体谐振器的制备方法，其特征在于，所述预固化的温度为：100-120℃。