[发明专利]一种沟道槽翘曲度测量方法及装置

权利要求书

1.一种沟道槽翘曲度测量方法，其特征在于，包括：

获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；

根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；

选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；

计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值具体通过以下公式：

其中，T为翘曲度值，X_i为第i个中心点的横坐标，X₁为第1个中心点的横坐标，n为中心点的个数。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标包括：

获取所述沟道槽图像的灰度图像；

对所述灰度图像进行降噪处理；

对所述降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理，获得所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标具体通过以下公式：

其中，X_i为第i个中心点的横坐标，X_Ai为第一边界上第i个点的横坐标，X_Bi为第二边界上第i个点的横坐标，i为正整数。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

当所述沟道槽图像为多个，每个沟道槽图像包括多个沟道槽时，保存沟道槽图像、测量位置、晶圆之间的对应关系；

所述计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值包括：

获取各测量位置对应的各沟道槽的中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值；和/或，

获取各晶圆对应的各测量位置对应的沟道槽中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

根据计算得到的每个测量位置对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述测量位置对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值；和/或，

根据计算得到的每个晶圆对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述晶圆对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

确定所述翘曲度值所属的阈值区间，根据所述翘曲度值所属的阈值区间确定所述沟道槽的质量等级。

8.一种沟道槽翘曲度测量装置，其特征在于，包括：

图像处理单元，用于获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；

中心点坐标确定单元，用于根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；

法线确定单元，用于选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；

翘曲度计算单元，用于计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。