[发明专利]圆度测量装置

权利要求书

1.一种圆度测量装置，包括：

载物台，其设置有要放置工件的载置板，其中所述载物台被配置为能够绕转动轴线转动并使放置在所述载置板上的工件转动；

检测器，其设置有能够与放置在所述载置板上的工件接触的触针，其中所述检测器被配置为检测所述触针的位置变化，其中：

在所述载物台转动时，使所述触针与所述工件的周面接触，以及

根据所述检测器所检测到的所述触针的位置变化来进行所述工件的圆形形状的测量；

第一移动器和第二移动器，其安装在所述载物台上，其中所述第一移动器和所述第二移动器被配置为使所述载置板分别沿与所述转动轴线垂直的第一移动轴方向和第二移动轴方向移动；

角度检测器，其被配置为检测所述载物台的当前的转动角度；

外部操作器，其被配置为指示放置在所述载置板上的工件的操作量，其中所述操作量是沿与所述转动轴线垂直的操作方向的操作量；以及

定心控制器，其被配置为根据所述操作量和所述转动角度来计算沿所述第一移动轴方向的第一移动量和沿所述第二移动轴方向的第二移动量，其中所述定心控制器进一步被配置为基于所计算出的所述第一移动量和所述第二移动量来分别驱动所述第一移动器和所述第二移动器。

2.根据权利要求1所述的圆度测量装置，其中，在所述载物台上还安装第一倾斜器和第二倾斜器，其中所述第一倾斜器和所述第二倾斜器用于分别调整所述载置板相对于与所述转动轴线垂直的第一倾斜轴方向和第二倾斜轴方向的倾斜，以及

所述圆度测量装置还设置水平调整控制器，所述水平调整控制器用于根据所述操作量和所述转动角度来计算相对于所述第一倾斜轴方向的第一倾斜量和相对于所述第二倾斜轴方向的第二倾斜量，并且基于所计算出的所述第一倾斜量和所述第二倾斜量来分别驱动所述第一倾斜器和所述第二倾斜器。

3.根据权利要求1所述的圆度测量装置，其中，所述第一移动量和所述第二移动量是根据所述转动角度将与所指示的沿所述操作方向的所述操作量相对应的距离分配成沿所述第一移动轴方向和所述第二移动轴方向的分量而得到的值，以使得所述第一移动量和所述第二移动量合成得到的移动量等于与沿所述操作方向的所述操作量相对应的距离。

4.根据权利要求2所述的圆度测量装置，其中，所述第一移动量和所述第二移动量是根据所述转动角度将与所指示的沿所述操作方向的所述操作量相对应的距离分配成沿所述第一移动轴方向和所述第二移动轴方向的分量而得到的值，以使得所述第一移动量和所述第二移动量合成得到的移动量等于与沿所述操作方向的所述操作量相对应的距离。

5.根据权利要求2所述的圆度测量装置，其中，

所述第一倾斜量和所述第二倾斜量是在所述触针的转动轴线方向的位置处的沿所述操作方向的移动量，以及

所述第一倾斜量和所述第二倾斜量是根据所述转动角度而分配成所述第一倾斜轴方向和所述第二倾斜轴方向的分量而得到的值，以使得所述第一倾斜量和所述第二倾斜量合成得到的倾斜量等于与所指示的在所述触针在所述转动轴线方向的位置处的沿所述操作方向的所述操作量相对应的距离。