[发明专利]一种光敏胶微凝装置及方法有效
申请号: | 201710776022.0 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN109420593B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 晏学飞;赵俊;韩传友;张金贵 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | B05C11/10 | 分类号: | B05C11/10 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光敏 胶微凝 装置 方法 | ||
1.一种光敏胶微凝装置,其特征在于,包括光敏胶容器、控制模块、设于所述光敏胶容器上且与所述控制模块连接的监测模块、抽排模块和加压模块,所述监测模块包括分别与所述控制模块连接的温度监测模块、粘度监测模块、质保监测模块和液位监测模块,通过控制模块控制加热模块和抽排模块进行加热和抽排,使光敏胶中的溶剂挥发,并通过粘度监测模块对光敏胶进行实时监测以达到指定粘度,使光敏胶通过一次旋涂达到目标膜厚;所述抽排模块位于所述光敏胶容器顶部,包括抽排电机和抽排管路,在加热模块加热的过程中,光敏胶中的溶剂通过抽排管路挥发出去;所述加压模块设于所述光敏胶容器顶部,用于提高光敏胶容器内的压力,便于光敏胶导出至涂胶机;所述质保监测模块设于所述光敏胶容器的侧面,用于监测光敏胶的质保期限,以适应光敏胶在加热、抽排后保质期发生改变的情形。
2.根据权利要求1所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述温度监测模块包括加热模块和冷却模块。
3.根据权利要求2所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述加热模块位于所述光敏胶容器底部,包括升温单元和第一温度传感器。
4.根据权利要求2所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述冷却模块围设于所述光敏胶容器外周,包括降温单元和第二温度传感器。
5.根据权利要求2所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述加热模块和冷却模块均围设于所述光敏胶容器外周,所述加热模块包括升温单元和第一温度传感器,所述冷却模块包括降温单元和第二温度传感器。
6.根据权利要求3或4或5所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述粘度监测模块设于所述光敏胶容器的侧面,包括粘度监测传感器和反馈单元。
7.根据权利要求3或4或5所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述液位监测模块包括液位监测传感器和提示器。
8.根据权利要求3或4或5所述的光敏胶微凝装置,其特征在于,所述液位监测模块设有两个,分别与光敏胶容器的上下两端对应。
9.一种光敏胶微凝方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:在光敏胶容器中通入光敏胶,控制模块控制加热模块、抽排模块和粘度监测模块开始工作,粘度监测模块实时监测并反馈光敏胶的粘度;
S2:当光敏胶的粘度达到设定值后,控制模块控制加热模块停止工作,抽排模块继续工作,同时启动冷却模块和加压模块启动,对光敏胶进行冷却;
S3:当光敏胶的温度降至设定值后,控制模块控制抽排模块停止工作,加压模块继续工作,并将光敏胶容器中的光敏胶导出。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述步骤S1中,光敏胶原液罐中的光敏胶通过光敏胶管路通入光敏胶容器中。
11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述步骤S1中,所述加热模块中的升温单元对光敏胶进行加热,使光敏胶的温度维持40℃~80℃。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,所述光敏胶的温度维持50℃~60℃。
13.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述步骤S3中,所述光敏胶容器中的光敏胶通过光敏胶管路导出至涂胶机。
14.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,还包括通过液位监测模块实时监测光敏胶容器内的液位,当液位低于设定最小值或高于设定最大值时进行提示。
15.一种涂胶系统,包括光敏胶原液罐、涂胶机,其特征在于,还包括如权利要求1~5任一项所述的光敏胶微凝装置。
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